Kaip visi žinome, puslaidininkių apibrėžimas yra toks: laidumas tarp sausų laidininkų ir izoliatorių, varža tarp metalo ir izoliatoriaus, kuri kambario temperatūroje paprastai yra 1 mΩ-cm ~ 1 GΩ-cm diapazone. Pastaraisiais metais vakuuminių puslaidininkių dangų naudojimas didelėse puslaidininkių įmonėse akivaizdžiai pagerino savo statusą, ypač kai kuriose didelio masto integruotų sistemų grandinių kūrimo technologijose, atliekant tyrimus magnetoelektrinių konversijos įtaisų, šviesą skleidžiančių įtaisų ir kituose plėtros darbuose. Vakuuminės puslaidininkių dangos atlieka svarbų vaidmenį.
Puslaidininkiai apibūdinami savo vidinėmis savybėmis, temperatūra ir priemaišų koncentracija. Vakuuminės puslaidininkių dangų medžiagos viena nuo kitos skiriasi daugiausia savo sudedamosiomis dalimis. Maždaug visos jos yra sudarytos iš boro, anglies, silicio, germanio, arseno, stibio, telūro, jodo ir kt., o kai kurios – palyginti nedaug GaP, GaAs, lnSb ir kt. Taip pat yra oksidinių puslaidininkių, tokių kaip FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O ir kt.
Vakuuminis puslaidininkių dengimas gali būti atliekamas vakuuminiu garinimu, dulkinimo dengimu, joniniu dengimu ir kita įranga. Ši dengimo įranga skiriasi savo veikimo principu, tačiau visomis ja galima nusodinti puslaidininkinę dangą ant pagrindo, ir nėra reikalavimo, kad pagrindo medžiaga būtų puslaidininkinė ar ne. Be to, dangas su skirtingomis elektrinėmis ir optinėmis savybėmis galima paruošti tiek priemaišų difuzijos, tiek jonų implantavimo ant puslaidininkinio pagrindo paviršiaus būdu. Gautas plonas sluoksnis taip pat gali būti apdorojamas kaip puslaidininkinė danga apskritai.
Vakuuminė puslaidininkinė danga yra nepakeičiama elektronikoje, tiek aktyviuose, tiek pasyviuose įrenginiuose. Nuolat tobulėjant vakuuminių puslaidininkinių dangų technologijai, tapo įmanoma tiksliai kontroliuoti plėvelės savybes.
Pastaraisiais metais amorfinės ir polikristalinės dangos sparčiai vystėsi gaminant fotolaidius įtaisus, dengtus lauko efekto vamzdelius ir didelio efektyvumo saulės elementus. Be to, dėl vakuuminių puslaidininkinių dangų ir plonų jutiklių plėvelių atsiradimo, tai taip pat žymiai sumažina medžiagų pasirinkimo sunkumus ir palaipsniui supaprastina gamybos procesą. Vakuuminių puslaidininkinių dangų įranga tapo būtinu puslaidininkių taikymuose. Įranga plačiai naudojama kamerų įtaisų, saulės elementų, dengtų tranzistorių, lauko emisijos, katodinės šviesos, elektronų emisijos, plonų plėvelių jutiklinių elementų ir kt. puslaidininkinėms dangoms.
Magnetroninio purškimo dengimo linija suprojektuota su visiškai automatine valdymo sistema, patogiu ir intuityviu jutikliniu ekranu ir žmogaus bei mašinos sąsaja. Linija suprojektuota su pilnu funkcijų meniu, kad būtų galima visapusiškai stebėti visų gamybos linijos komponentų veikimo būseną, nustatyti proceso parametrus, apsaugoti veikimą ir aliarmo funkcijas. Visa elektros valdymo sistema yra saugi, patikima ir stabili. Įrengta viršutiniu ir apatiniu dvipusiu magnetroniniu purškimo taikiniu arba vienpuse dengimo sistema.
Įranga daugiausia naudojama keraminėms plokštėms, aukštos įtampos lustų kondensatoriams ir kitoms substrato dangoms, pagrindinės taikymo sritys yra elektroninės plokštės.
Įrašo laikas: 2022 m. lapkričio 7 d.