ດັ່ງທີ່ພວກເຮົາທຸກຄົນຮູ້, ຄໍານິຍາມຂອງ semiconductor ແມ່ນວ່າມັນມີ conductivity ລະຫວ່າງ conductors ແຫ້ງແລະ insulators, ຄວາມຕ້ານທານລະຫວ່າງໂລຫະແລະ insulator, ເຊິ່ງປົກກະຕິແລ້ວຢູ່ໃນອຸນຫະພູມຫ້ອງແມ່ນຢູ່ໃນລະດັບຂອງ 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ການເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດໃນບໍລິສັດ semiconductor ທີ່ສໍາຄັນ, ມັນເປັນທີ່ຊັດເຈນວ່າສະຖານະພາບຂອງມັນແມ່ນສູງຫຼາຍ, ໂດຍສະເພາະໃນບາງວິທີການຄົ້ນຄ້ວາລະບົບໄຟຟ້າປະສົມປະສານ. ອຸປະກອນ, ອຸປະກອນການປ່ອຍແສງສະຫວ່າງແລະການພັດທະນາອື່ນໆ. ການເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດມີບົດບາດສໍາຄັນ.
Semiconductors ມີລັກສະນະພາຍໃນ, ອຸນຫະພູມແລະຄວາມເຂັ້ມຂົ້ນຂອງ impurity. ວັດສະດຸເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດແມ່ນຈໍາແນກຈາກແຕ່ລະຄົນໂດຍສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໂດຍສານປະກອບຂອງຕົນ. ໂດຍປະມານທັງໝົດແມ່ນອີງໃສ່ boron, carbon, silicon, germanium, arsenic, antimony, tellurium, iodine, etc., ແລະບາງ GaP, GaAs, lnSb, ແລະອື່ນໆ.. ຍັງມີສານ semiconductors oxide ບາງອັນເຊັ່ນ FeO, Fe₂O₃, MnO₂O, Cr, etc.
ການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ການເຄືອບ sputtering, ການເຄືອບ ion ແລະອຸປະກອນອື່ນໆສາມາດເຮັດການເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດ. ອຸປະກອນການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ແມ່ນທັງຫມົດທີ່ແຕກຕ່າງກັນໃນຫຼັກການການເຮັດວຽກຂອງເຂົາເຈົ້າ, ແຕ່ພວກເຂົາເຈົ້າທັງຫມົດເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນການເຄືອບ semiconductor ຝາກໄວ້ໃນ substrate, ແລະເປັນວັດສະດຸຂອງ substrate, ບໍ່ມີຄວາມຕ້ອງການ, ມັນສາມາດເປັນ semiconductor ຫຼືບໍ່. ນອກຈາກນັ້ນ, ການເຄືອບທີ່ມີຄຸນສົມບັດໄຟຟ້າແລະ optical ທີ່ແຕກຕ່າງກັນສາມາດໄດ້ຮັບການກະກຽມໂດຍການແຜ່ກະຈາຍ impurity ແລະ implantation ion ເທິງຫນ້າດິນຂອງ substrate semiconductor ໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງ. ຊັ້ນບາງໆທີ່ໄດ້ຮັບຜົນຍັງສາມາດປຸງແຕ່ງເປັນການເຄືອບ semiconductor ໂດຍທົ່ວໄປ.
ການເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດແມ່ນການປະກົດຕົວທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກບໍ່ວ່າຈະເປັນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ວຽກຫຼືຕົວຕັ້ງຕົວຕີ. ດ້ວຍຄວາມກ້າວຫນ້າຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຂອງເຕັກໂນໂລຍີການເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດ, ການຄວບຄຸມປະສິດທິພາບຂອງຮູບເງົາໄດ້ກາຍເປັນຄວາມເປັນໄປໄດ້.
ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ການເຄືອບ amorphous ແລະ polycrystalline ມີຄວາມກ້າວຫນ້າຢ່າງໄວວາໃນການຜະລິດອຸປະກອນ photoconductive, ທໍ່ສົ່ງຜົນກະທົບພາກສະຫນາມ, ແລະຈຸລັງແສງຕາເວັນທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເນື່ອງຈາກວ່າການພັດທະນາຂອງການເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດແລະຮູບເງົາບາງໆຂອງເຊັນເຊີ, ເຊິ່ງຍັງຫຼຸດລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນການຄັດເລືອກວັດສະດຸແລະເຮັດໃຫ້ຂະບວນການຜະລິດຄ່ອຍໆງ່າຍດາຍ. ອຸປະກອນການເຄືອບ semiconductor ສູນຍາກາດໄດ້ກາຍເປັນທີ່ມີຄວາມຈໍາເປັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ semiconductor. ອຸປະກອນດັ່ງກ່າວໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງສໍາລັບການເຄືອບ semiconductor ຂອງອຸປະກອນກ້ອງຖ່າຍຮູບ, ຈຸລັງແສງຕາເວັນ, transistors ເຄືອບ, ການປ່ອຍອາຍພິດພາກສະຫນາມ, cathode-ແສງສະຫວ່າງ, ການປ່ອຍອາຍພິດເອເລັກໂຕຣນິກ, ອົງປະກອບການຮັບຮູ້ຮູບເງົາບາງ, ແລະອື່ນໆ.
ສາຍການເຄືອບ magnetron sputtering ໄດ້ຖືກອອກແບບທີ່ມີລະບົບການຄວບຄຸມອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມສ່ວນ, ຫນ້າຈໍສໍາຜັດທີ່ສະດວກແລະ intuitive ການໂຕ້ຕອບຂອງມະນຸດກັບເຄື່ອງຈັກ. ສາຍໄດ້ຖືກອອກແບບດ້ວຍເມນູຫນ້າທີ່ສົມບູນເພື່ອບັນລຸການຕິດຕາມສະຖານະການປະຕິບັດງານຢ່າງເຕັມທີ່ສໍາລັບອົງປະກອບຂອງສາຍການຜະລິດທັງຫມົດ, ການຕັ້ງຄ່າພາລາມິເຕີຂະບວນການ, ການປ້ອງກັນການດໍາເນີນງານແລະຫນ້າທີ່ປຸກ. ລະບົບການຄວບຄຸມໄຟຟ້າທັງຫມົດແມ່ນປອດໄພ, ເຊື່ອຖືໄດ້ແລະຫມັ້ນຄົງ. ມີອຸປະກອນທີ່ມີເປົ້າຫມາຍ sputtering magnetron ສອງດ້ານເທິງແລະຕ່ໍາຫຼືລະບົບການເຄືອບດ້ານດຽວ.
ອຸປະກອນສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ກັບກະດານວົງຈອນເຊລາມິກ, chip capacitors ແຮງດັນສູງແລະການເຄືອບ substrate ອື່ນໆ, ພື້ນທີ່ຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຕົ້ນຕໍແມ່ນກະດານວົງຈອນເອເລັກໂຕຣນິກ.
ເວລາປະກາດ: ວັນທີ 07-07-2022