Вакуумдук иондук каптоо (кыскача иондук каптоо) 1963-жылы Америка Кошмо Штаттарында Somdia компаниясынын DM Mattox тарабынан сунушталган 1970-жылдары тездик менен иштелип чыккан бетти тазалоонун жаңы технологиясы. Ал вакуумдагы пленкалык материалды буулантуу же чачыратуу үчүн буулануу булагын же чачыратуу бутасын колдонуу процессин билдирет.
Биринчиси, газ разряддык плазма мейкиндигинде металл буусу жана жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдорго жарым-жартылай иондошкон жана электр талаасынын аракети аркылуу пленка түзүү үчүн субстратка жеткен пленкалуу материалды ысытуу жана буулоо аркылуу металл буусун түзүү; акыркысы жогорку энергиялуу иондорду колдонот (Мисалы, Ar+) пленка материалынын бетин бомбалап, чачыратылган бөлүкчөлөр газ разрядынын мейкиндиги аркылуу иондорго же жогорку энергиялуу нейтралдуу атомдорго иондошуп, субстраттын бетин ишке ашырып, пленка пайда кылат.
Бул макаланы өндүрүүчү Гуандун Чжэнхуа жарыялаганвакуумдук каптоо жабдуулары
Посттун убактысы: Мар-10-2023