Platkirina îyonê ya valahiyê (bi kurtasî plakkirina îyonê) teknolojiyeke nû ya dermankirina rûvî ye ku di salên 1970-an de bi lez pêş ket, ku di sala 1963-an de ji hêla DM Mattox ê Somdia Company li Dewletên Yekbûyî ve hate pêşniyar kirin. Ew behsa pêvajoya karanîna çavkaniya buharbûnê an hedefa sputterkirinê dike da ku materyalê fîlmê di atmosfera valahiyê de buhar bike an jî sputter bike.
Ya yekem ew e ku bi germkirin û buharkirina materyalê fîlmê buxara metal çêbike, ku qismî di valahiya plazmaya derxistina gazê de dibe buxara metal û atomên bêalî yên enerjiya bilind, û bi riya çalakiya zeviya elektrîkê digihîje substratê da ku fîlmek çêbike; ya paşîn îyonên enerjiya bilind (mînakî, Ar+) bikar tîne da ku rûyê materyalê fîlmê bombebaran bike da ku perçeyên belavbûyî di valahiya derxistina gazê de bibin iyon an atomên bêalî yên enerjiya bilind, û rûyê substratê çêbike da ku fîlmek çêbike.
Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua, hilberînerê ve hatî weşandinalavên boyaxkirina valahiyê
Dema weşandinê: Adar-10-2023