Вакуумды ионды қаптау (қысқаша ионды қаптау) - 1963 жылы Америка Құрама Штаттарындағы Somdia компаниясының DM Mattox ұсынған 1970 жылдары қарқынды дамыған бетті өңдеудің жаңа технологиясы. Ол вакуумдағы пленкалық материалды булану немесе шашырату үшін булану көзін немесе шашырату нысанасын пайдалану процесін білдіреді.
Біріншісі - газ разрядтық плазма кеңістігінде металл буы мен жоғары энергиялы бейтарап атомдарға жартылай иондалған және электр өрісінің әсерінен пленка түзу үшін субстратқа жететін пленкалық материалды қыздыру және буландыру арқылы металл буын алу; соңғысы жоғары энергиялы иондарды пайдаланады (мысалы, Ar+) пленкалық материалдың бетін бомбалайды, осылайша шашыраған бөлшектер газ разрядының кеңістігі арқылы иондарға немесе жоғары энергиялы бейтарап атомдарға айналады және пленка қалыптастыру үшін субстраттың бетін жүзеге асырады.
Бұл мақаланы өндіруші Гуандун Чжэнхуа жарияладывакуумды жабуға арналған жабдық
Хабарлама уақыты: 10 наурыз 2023 ж