Барлығымызға белгілі, жартылай өткізгіштің анықтамасы оның құрғақ өткізгіштер мен изоляторлар арасындағы өткізгіштігі, металл мен изолятор арасындағы кедергісі бар, әдетте бөлме температурасында 1мΩ-см ~ 1ГОм-см диапазонында болады. Соңғы жылдары ірі жартылай өткізгіш компанияларда вакуумды жартылай өткізгіш жабындары, оның дәрежесі жоғары, әсіресе ғылыми-зерттеу әдістерінің кейбір ауқымды технологияны дамытуда жоғарылағаны анық. магнитоэлектрлік түрлендіру құрылғылары, жарық шығаратын құрылғылар және басқа әзірлеу жұмыстары. Вакуумдық жартылай өткізгіш жабын маңызды рөл атқарады.
Жартылай өткізгіштер өздерінің меншікті сипаттамаларымен, температурасымен және қоспа концентрациясымен сипатталады. Вакуумды жартылай өткізгіш жабын материалдары бір-бірінен негізінен оның құрамдас қосылыстарымен ерекшеленеді. Шамамен барлығы бор, көміртек, кремний, германий, мышьяк, сурьма, теллур, йод және т.б., ал кейбір салыстырмалы түрде аз GaP, GaAs, lnSb және т.
Вакуумды булану, шашыратқыш жабын, ионды жабын және басқа жабдық вакуумдық жартылай өткізгіш жабын жасай алады. Бұл жабын жабдықтары олардың жұмыс принципі бойынша әртүрлі, бірақ олардың барлығы жартылай өткізгіш материалды жабын материалын субстратқа түсіреді және субстрат материалы ретінде ешқандай талап жоқ, ол жартылай өткізгіш болуы мүмкін немесе болмауы мүмкін. Сонымен қатар, әртүрлі электрлік және оптикалық қасиеттері бар жабындарды диапазондағы жартылай өткізгіш субстраттың бетіне қоспалардың диффузиясы және ион имплантациясы арқылы дайындауға болады. Алынған жұқа қабат жалпы жартылай өткізгіш жабын ретінде де өңделуі мүмкін.
Вакуумдық жартылай өткізгішті жабын - бұл белсенді немесе пассивті құрылғылар үшін электроникада таптырмас қатысу. Вакуумдық жартылай өткізгішті жабу технологиясының үздіксіз дамуымен пленка өнімділігін дәл бақылау мүмкін болды.
Соңғы жылдары аморфты жабын және поликристалды жабын фотоөткізгіш құрылғыларды, қапталған далалық әсерлі түтіктерді және жоғары тиімді күн батареяларын өндіруде жылдам прогреске қол жеткізді. Сонымен қатар, вакуумдық жартылай өткізгішті жабынның және сенсорлардың жұқа қабықшасының дамуына байланысты, бұл материалды таңдаудың қиындықтарын айтарлықтай азайтады және өндіріс процесін біртіндеп жеңілдетеді. Вакуумдық жартылай өткізгішті жабу жабдығы жартылай өткізгіштерді қолдану үшін қажетті қатысуға айналды. Жабдық камералық құрылғыларды, күн батареяларын, қапталған транзисторларды, өрісті сәулеленуді, катодты жарықты, электронды эмиссияны, жұқа пленканы сезгіш элементтерді және т.б. жартылай өткізгішті жабу үшін кеңінен қолданылады.
Магнетронды шашыратқыш жабын желісі толық автоматты басқару жүйесімен, ыңғайлы және интуитивті сенсорлық экран адам мен машина интерфейсімен жасалған. Бұл желі бүкіл өндірістік желі құрамдас бөліктерінің жұмыс күйін толық бақылауға, процесс параметрлерін орнатуға, жұмысты қорғауға және дабыл функцияларына қол жеткізу үшін толық функция мәзірімен жасалған. Бүкіл электрлік басқару жүйесі қауіпсіз, сенімді және тұрақты. Жоғарғы және төменгі екі жақты магнетронды шашырату нысанасы немесе бір жақты жабу жүйесімен жабдықталған.
Жабдық негізінен керамикалық платаларға, чиптің жоғары вольтты конденсаторларға және басқа субстрат жабындарына қолданылады, негізгі қолдану саласы электронды схемалар болып табылады.
Жіберу уақыты: 07 қараша 2022 ж