ვაკუუმური იონური მოპირკეთება (შემოკლებით იონური მოპირკეთება) ზედაპირის დამუშავების ახალი ტექნოლოგიაა, რომელიც სწრაფად განვითარდა 1970-იან წლებში, რომელიც შემოთავაზებული იყო აშშ-ში Somdia Company-ის წარმომადგენელი დ.მ. მატოქსის მიერ 1963 წელს. ის გულისხმობს აორთქლების წყაროს ან გაფრქვევის სამიზნის გამოყენების პროცესს ფირის მასალის ვაკუუმურ ატმოსფეროში აორთქლების ან გაფრქვევის მიზნით.
პირველი მეთოდი გულისხმობს ლითონის ორთქლის წარმოქმნას ფირის მასალის გაცხელებითა და აორთქლებით, რომელიც ნაწილობრივ იონიზდება ლითონის ორთქლად და მაღალი ენერგიის ნეიტრალურ ატომებად გაზის განმუხტვის პლაზმურ სივრცეში და ელექტრული ველის მოქმედებით აღწევს სუბსტრატს ფირის შესაქმნელად; მეორე მეთოდი იყენებს მაღალი ენერგიის იონებს (მაგალითად, Ar+) და ბომბავს ფირის მასალის ზედაპირს ისე, რომ გაფრქვეული ნაწილაკები იონიზდება იონებად ან მაღალი ენერგიის ნეიტრალურ ატომებად გაზის განმუხტვის სივრცის მეშვეობით და აღწევს სუბსტრატის ზედაპირს ფირის შესაქმნელად.
ეს სტატია გამოქვეყნებულია Guangdong Zhenhua-ს მიერ, რომელიც წარმოადგენს...ვაკუუმური საფარის აღჭურვილობა
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 10 მარტი