ציפוי יונים בוואקום (בקיצור ציפוי יונים) היא טכנולוגיית טיפול פני שטח חדשה שפותחה במהירות בשנות ה-70, והוצעה על ידי DM Mattox מחברת Somdia בארצות הברית בשנת 1963. היא מתייחסת לתהליך של שימוש במקור אידוי או מטרת התזה כדי לאדות או להתיז את חומר הסרט באטמוספירת הוואקום.
הראשון הוא לייצר אדי מתכת על ידי חימום ואידוי של חומר הסרט, אשר מיונן חלקית לאדי מתכת ולאטומים ניטרליים בעלי אנרגיה גבוהה בחלל הפלזמה של פריקת הגז, ומגיע למצע ליצירת סרט באמצעות פעולת השדה החשמלי; האחרון משתמש ביונים בעלי אנרגיה גבוהה (לדוגמה, Ar+) ומפציץ את פני השטח של חומר הסרט כך שהחלקיקים המרוטשים מיונים ליונים או לאטומים ניטרליים בעלי אנרגיה גבוהה דרך חלל פריקת הגז, ומממשים את פני השטח של המצע ליצירת סרט.
מאמר זה פורסם על ידי גואנגדונג ז'נהואה, יצרנית שלציוד ציפוי ואקום
זמן פרסום: 10 במרץ 2023