מצב היישום הנוכחי של ציפוי מוליכים למחצה בוואקום

כידוע לכולנו, ההגדרה של מוליך למחצה היא מוליכות בין מוליכים יבשים למבודדים, וההתנגדות בין המתכת למבודד, שבדרך כלל בטמפרטורת החדר, היא בטווח של 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. בשנים האחרונות, ציפוי מוליכים למחצה בוואקום (RV) גדל והולך בחברות המוליכים למחצה הגדולות, במיוחד במחקר טכנולוגי של פיתוח מעגלי מערכות משולבות בקנה מידה גדול, החל משיטות מחקר טכנולוגיות למכשירי המרה מגנטואלקטריים, מכשירי פולטי אור ועבודות פיתוח אחרות. לציפוי מוליכים למחצה בוואקום יש תפקיד חשוב.

מוליכים למחצה מאופיינים במאפיינים הפנימיים שלהם, בטמפרטורה ובריכוז הזיהומים. חומרי ציפוי מוליכים למחצה בוואקום נבדלים זה מזה בעיקר על ידי התרכובות המרכיבות אותם. כמעט כולם מבוססים על בורון, פחמן, סיליקון, גרמניום, ארסן, אנטימון, טלור, יוד וכו', וחלקם יחסית מעטים GaP, GaAs, lnSb וכו'. ישנם גם כמה מוליכים למחצה תחמוצתיים, כגון FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O וכו'.

ציוד אידוי ואקום, ציפוי התזה, ציפוי יונים וציוד אחר יכול לבצע ציפוי מוליכים למחצה בוואקום. ציוד ציפוי זה שונה בעקרון הפעולה שלו, אך כולם מייצרים את חומר הציפוי של מוליך למחצה המופקד על המצע, וכחומר המצע, אין דרישה, הוא יכול להיות מוליך למחצה או לא. בנוסף, ניתן להכין ציפויים בעלי תכונות חשמליות ואופטיות שונות הן על ידי דיפוזיה של טומאה והן על ידי השתלת יונים על פני מצע המוליך למחצה בטווח. את השכבה הדקה המתקבלת ניתן גם לעבד כציפוי מוליך למחצה באופן כללי.

ציפוי מוליכים למחצה בוואקום הוא נוכחות הכרחית באלקטרוניקה, בין אם מדובר במכשירים אקטיביים או פסיביים. עם ההתקדמות המתמשכת של טכנולוגיית ציפוי מוליכים למחצה בוואקום, שליטה מדויקת בביצועי הסרט הפכה לאפשרית.

בשנים האחרונות, ציפוי אמורפי וציפוי פוליקריסטלי התקדמו במהירות בייצור התקנים פוטו-מוליכים, שפופרות אפקט שדה מצופות ותאים סולאריים בעלי יעילות גבוהה. בנוסף, בשל פיתוח ציפוי מוליכים למחצה בוואקום והשכבה הדקה של חיישנים, אשר גם מפחיתים באופן משמעותי את הקושי בבחירת החומרים ומפשטים בהדרגה את תהליך הייצור. ציוד ציפוי מוליכים למחצה בוואקום הפך לנוכחות הכרחית עבור יישומי מוליכים למחצה. הציוד נמצא בשימוש נרחב לציפוי מוליכים למחצה של התקני מצלמה, תאים סולאריים, טרנזיסטורים מצופים, אלמנטי חישה של פליטת שדה, אור קתודי, פליטת אלקטרונים, שכבה דקה ועוד.

קו ציפוי ההתזה המגנטרון מתוכנן עם מערכת בקרה אוטומטית לחלוטין, ממשק אדם-מכונה נוח ואינטואיטיבי עם מסך מגע. הקו מתוכנן עם תפריט פונקציות מלא כדי להשיג ניטור מלא של מצב הפעולה של כל רכיבי קו הייצור, הגדרת פרמטרי התהליך, הגנה על הפעולה ופונקציות אזעקה. מערכת הבקרה החשמלית כולה בטוחה, אמינה ויציבה. מצויד במטרה להתזה מגנטרון דו-צדדית עליונה ותחתונה או במערכת ציפוי חד-צדדית.

הציוד מיושם בעיקר על מעגלים קרמיים, קבלי מתח גבוה של שבבים וציפויי מצע אחרים, תחומי היישום העיקריים הם מעגלים אלקטרוניים.