Lofttæmisjónhúðun (jónhúðun í stuttu máli) er ný yfirborðsmeðferðartækni sem þróaðist hratt á áttunda áratugnum og var lögð til af DM Mattox hjá Somdia Company í Bandaríkjunum árið 1963. Hún vísar til þess ferlis að nota uppgufunargjafa eða spúttunarmarkmið til að gufa upp eða spútta filmuefnið í lofttæmisloftinu.
Hið fyrra er að mynda málmgufu með því að hita og gufa upp filmuefnið, sem er að hluta til jónað í málmgufu og orkurík hlutlaus atóm í gasútblástursplasmarýminu og nær undirlaginu til að mynda filmu með áhrifum rafsviðsins; hið síðara notar orkuríkar jónir (til dæmis Ar+) til að sprengja yfirborð filmuefnisins þannig að spúttuðu agnirnar jónast í jónir eða orkurík hlutlaus atóm í gegnum gasútblástursrýmið og átta sig á yfirborði undirlagsins til að mynda filmu.
Þessi grein er gefin út af Guangdong Zhenhua, framleiðandatómarúmshúðunarbúnaður
Birtingartími: 10. mars 2023