Eins og við öll vitum er skilgreiningin á hálfleiðara sú að hann hefur leiðni milli þurrleiðara og einangrara, og viðnám milli málms og einangrara, sem er venjulega við stofuhita, er á bilinu 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Á undanförnum árum hefur staða lofttæmishúðunar hálfleiðara aukist hjá helstu hálfleiðarafyrirtækjum, sérstaklega í stórum rannsóknum á tækni sem tengist þróun samþættra kerfa, segulrafmagnsumbreytingartækjum, ljósgeislunartækjum og öðrum þróunarverkefnum. Lofttæmishúðun hálfleiðara gegnir mikilvægu hlutverki.
Hálfleiðarar einkennast af eðlislægum eiginleikum sínum, hitastigi og óhreinindaþéttni. Lofttæmishúðunarefni fyrir hálfleiðara eru aðallega aðgreind með efnasamböndum þeirra. Í stórum dráttum eru öll byggð á bór, kolefni, kísil, germaníum, arseni, antimoni, tellúri, joði o.s.frv., og nokkrir tiltölulega fáir GaP, GaAs, lnSb o.s.frv. Það eru líka nokkrir oxíðhálfleiðarar, eins og FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O o.s.frv.
Lofttæmisgufun, spúttunarhúðun, jónahúðun og annar búnaður getur framkvæmt lofttæmishálfleiðarahúðun. Þessir húðunarbúnaður eru allir ólíkir í virkni sinni, en þeir nota allir hálfleiðaraefni sem húðunarefni sem sett á undirlagið, og það er engin krafa um að undirlagið geti verið hálfleiðari eða ekki. Að auki er hægt að framleiða húðun með mismunandi rafmagns- og ljósfræðilegum eiginleikum bæði með óhreinindadreifingu og jónaígræðslu á yfirborð hálfleiðaraundirlagsins innan ákveðins sviðs. Þunna lagið sem myndast er einnig hægt að vinna almennt sem hálfleiðarahúðun.
Lofttæmishúðun hálfleiðara er ómissandi í rafeindatækni, hvort sem um er að ræða virka eða óvirka tæki. Með sífelldum framförum í lofttæmishúðunartækni hefur nákvæm stjórnun á afköstum filmunnar orðið möguleg.
Á undanförnum árum hafa amorf húðun og fjölkristallaða húðun tekið miklum framförum í framleiðslu ljósleiðandi tækja, húðaðra sviðsáhrifalampa og hágæða sólarsella. Þar að auki, vegna þróunar á lofttæmishúðun með hálfleiðurum og þunnfilmu skynjara, sem einnig dregur verulega úr erfiðleikum við efnisval og einfaldar framleiðsluferlið smám saman. Búnaður til lofttæmishúðunar með hálfleiðurum hefur orðið nauðsynlegur fyrir notkun hálfleiðara. Búnaðurinn er mikið notaður til að húða myndavélar, sólarsellur, húðaða smára, skynjara fyrir sviðsljós, katóðuljós, rafeindaljós, þunnfilmu skynjara o.s.frv.
Segulrúmshúðunarlínan er hönnuð með fullkomlega sjálfvirku stjórnkerfi, þægilegu og innsæi snertiskjás viðmóti milli manna og véla. Línan er hönnuð með fullkomnu virknivalmynd til að ná fullu eftirliti með rekstrarstöðu allra íhluta framleiðslulínunnar, stillingu ferlisbreyta, rekstrarvörn og viðvörunaraðgerðum. Allt rafstýringarkerfið er öruggt, áreiðanlegt og stöðugt. Búið með efri og neðri tvíhliða segulrúmshúðunarmarkmiði eða einhliða húðunarkerfi.
Búnaðurinn er aðallega notaður á keramik rafrásarplötur, flís háspennuþétta og aðra undirlagshúðun, helstu notkunarsviðin eru rafrásarplötur.
Birtingartími: 7. nóvember 2022