Seperti yang kita ketahui, definisi semikonduktor adalah memiliki konduktivitas antara konduktor kering dan isolator, resistivitas antara logam dan isolator, yang biasanya pada suhu kamar berada dalam kisaran 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm. Dalam beberapa tahun terakhir, pelapisan semikonduktor vakum di perusahaan semikonduktor besar, jelas bahwa statusnya semakin tinggi, terutama dalam beberapa metode penelitian teknologi pengembangan sirkuit sistem terpadu skala besar untuk perangkat konversi magnetoelektrik, perangkat pemancar cahaya dan pekerjaan pengembangan lainnya. Pelapisan semikonduktor vakum memiliki peran penting.
Semikonduktor dicirikan oleh karakteristik intrinsiknya, suhu, dan konsentrasi pengotor. Bahan pelapis semikonduktor vakum dibedakan satu sama lain terutama oleh senyawa penyusunnya. Secara kasar semuanya berbasis boron, karbon, silikon, germanium, arsenik, antimon, telurium, yodium, dll., dan beberapa GaP, GaAs, lnSb, dll. yang relatif sedikit. Ada juga beberapa semikonduktor oksida, seperti FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, dll.
Penguapan vakum, pelapisan sputtering, pelapisan ion dan peralatan lainnya dapat melakukan pelapisan semikonduktor vakum. Semua peralatan pelapis ini berbeda dalam prinsip kerjanya, tetapi semuanya membuat bahan pelapis bahan semikonduktor diendapkan pada substrat, dan sebagai bahan substrat, tidak ada persyaratan, dapat berupa semikonduktor atau tidak. Selain itu, pelapis dengan sifat listrik dan optik yang berbeda dapat disiapkan melalui difusi pengotor dan implantasi ion pada permukaan substrat semikonduktor dalam suatu rentang. Lapisan tipis yang dihasilkan juga dapat diproses sebagai pelapis semikonduktor secara umum.
Pelapisan semikonduktor vakum merupakan hal yang sangat penting dalam bidang elektronik, baik untuk perangkat aktif maupun pasif. Dengan kemajuan teknologi pelapisan semikonduktor vakum yang terus berlanjut, kontrol kinerja film yang presisi menjadi mungkin.
Dalam beberapa tahun terakhir, pelapisan amorf dan pelapisan polikristalin telah mengalami kemajuan pesat dalam pembuatan perangkat fotokonduktif, tabung efek medan berlapis, dan sel surya efisiensi tinggi. Selain itu, karena pengembangan pelapisan semikonduktor vakum dan lapisan tipis sensor, yang juga secara substansial mengurangi kesulitan pemilihan material dan membuat proses manufaktur disederhanakan secara bertahap. Peralatan pelapisan semikonduktor vakum telah menjadi kehadiran yang diperlukan untuk aplikasi semikonduktor. Peralatan ini banyak digunakan untuk pelapisan semikonduktor perangkat kamera, sel surya, transistor berlapis, emisi medan, cahaya katode, emisi elektron, elemen penginderaan lapisan tipis, dll.
Lini pelapisan magnetron sputtering dirancang dengan sistem kontrol otomatis penuh, antarmuka manusia-mesin layar sentuh yang nyaman dan intuitif. Lini ini dirancang dengan menu fungsi lengkap untuk mencapai pemantauan penuh status operasi untuk seluruh komponen lini produksi, pengaturan parameter proses, perlindungan operasi, dan fungsi alarm. Seluruh sistem kontrol listrik aman, andal, dan stabil. Dilengkapi dengan target sputtering magnetron dua sisi atas dan bawah atau sistem pelapisan satu sisi.
Peralatan ini terutama diaplikasikan pada papan sirkuit keramik, chip kapasitor tegangan tinggi dan pelapis substrat lainnya, area aplikasi utamanya adalah papan sirkuit elektronik.
Waktu posting: 07-Nov-2022