A vákuumos ionbevonatolás (röviden ionbevonatolás) egy új felületkezelési technológia, amely az 1970-es években gyorsan fejlődött, és amelyet DM Mattox, a Somdia Company munkatársa javasolt az Egyesült Államokban 1963-ban. Ez arra a folyamatra utal, amelynek során párologtatási forrást vagy porlasztási célpontot használnak a filmanyag vákuumatmoszférában történő elpárologtatására vagy porlasztására.
Az előbbi a filmanyag melegítésével és elpárologtatásával fémgőzt állít elő, amelyet a gázkisülés plazmaterében részben ionizálnak fémgőzzé és nagy energiájú semleges atomokká, és az elektromos tér hatására elérik a szubsztrátot, hogy filmet képezzenek; az utóbbi nagy energiájú ionokat (például Ar+) használ a filmanyag felületének bombázására, így a porlasztott részecskék ionokká vagy nagy energiájú semleges atomokká ionizálódnak a gázkisülés terében, és a szubsztrát felületét filmké alakítják.
Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua, a ... gyártója tette közzé.vákuumos bevonóberendezés
Közzététel ideje: 2023. márc. 10.