Mint mindannyian tudjuk, a félvezető definíciója az, hogy a száraz vezetők és szigetelők között vezetőképességgel, a fém és szigetelő között pedig ellenállással rendelkezik, ami szobahőmérsékleten általában 1 mΩ-cm ~ 1 GΩ-cm tartományon belül van. Az utóbbi években a vákuumos félvezető bevonatok a legnagyobb félvezetőgyártó vállalatoknál egyértelművé váltak, hogy státuszuk egyre magasabb, különösen egyes nagyméretű integrált rendszeráramkör-fejlesztési technológiai kutatási módszerekben, magnetoelektromos átalakító eszközökben, fénykibocsátó eszközökben és egyéb fejlesztési munkákban. A vákuumos félvezető bevonatnak fontos szerepe van.
A félvezetőket belső tulajdonságaik, hőmérsékletük és szennyeződés-koncentrációjuk jellemzi. A vákuumos félvezető bevonóanyagokat főként alkotóelemeik különböztetik meg egymástól. Nagyjából mindegyik bór-, szén-, szilícium-, germánium-, arzén-, antimon-, tellúr-, jód- stb. alapú, és néhány viszonylag kevés GaP-, GaAs-, lnSb- stb. alapú. Léteznek oxid félvezetők is, például FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O stb.
Vákuumpárologtatás, porlasztásos bevonatolás, ionbevonatolás és egyéb berendezések alkalmasak vákuumos félvezető bevonatolásra. Ezek a bevonóberendezések működési elvükben különböznek, de mindegyik félvezető anyagot visz fel a hordozóra, és a hordozó anyagára vonatkozóan nincs előírás, hogy félvezető-e vagy sem. Ezenkívül a félvezető hordozó felületére történő szennyeződés-diffúzióval és ionimplantációval különböző elektromos és optikai tulajdonságokkal rendelkező bevonatok állíthatók elő. A kapott vékonyréteg általánosságban félvezető bevonatként is feldolgozható.
A vákuumos félvezető bevonat nélkülözhetetlen az elektronikában, legyen szó akár aktív, akár passzív eszközökről. A vákuumos félvezető bevonatolási technológia folyamatos fejlődésével lehetővé vált a film teljesítményének pontos szabályozása.
Az utóbbi években az amorf és a polikristályos bevonatok gyors fejlődésen mentek keresztül a fotovezető eszközök, bevonatos térvezérlésű csövek és nagy hatékonyságú napelemek gyártásában. Ezenkívül a vákuumos félvezető bevonat és az érzékelők vékonyrétegének fejlődése miatt az anyagválasztás nehézségei is jelentősen csökkentek, és a gyártási folyamat fokozatosan leegyszerűsödik. A vákuumos félvezető bevonó berendezések a félvezető alkalmazások elengedhetetlen kellékeivé váltak. A berendezéseket széles körben használják kamerák, napelemek, bevonatos tranzisztorok, téremissziós, katódfényes, elektronemissziós, vékonyréteg-érzékelő elemek stb. félvezető bevonására.
A magnetronos porlasztásos bevonósor teljesen automatikus vezérlőrendszerrel, kényelmes és intuitív érintőképernyős ember-gép interfésszel van tervezve. A sor teljes funkciómenüvel van ellátva, amely lehetővé teszi a teljes gyártósor-komponensek működési állapotának teljes körű felügyeletét, a folyamatparaméterek beállítását, az üzemvédelmet és a riasztási funkciókat. A teljes elektromos vezérlőrendszer biztonságos, megbízható és stabil. Felső és alsó kétoldalas magnetronos porlasztási célponttal vagy egyoldalas bevonórendszerrel van felszerelve.
A berendezést főként kerámia áramköri lapokhoz, nagyfeszültségű kondenzátorokhoz és egyéb aljzatbevonatokhoz alkalmazzák, a fő alkalmazási területek az elektronikus áramköri lapok.
Közzététel ideje: 2022. november 7.