વેક્યુમ આયન પ્લેટિંગ (ટૂંકમાં આયન પ્લેટિંગ) એ એક નવી સપાટી સારવાર તકનીક છે જે 1970 ના દાયકામાં ઝડપથી વિકસાવવામાં આવી હતી, જે 1963 માં યુનાઇટેડ સ્ટેટ્સમાં સોમડિયા કંપનીના ડીએમ મેટોક્સ દ્વારા પ્રસ્તાવિત કરવામાં આવી હતી. તે વેક્યુમ વાતાવરણમાં ફિલ્મ સામગ્રીને બાષ્પીભવન અથવા સ્પટર કરવા માટે બાષ્પીભવન સ્ત્રોત અથવા સ્પટરિંગ લક્ષ્યનો ઉપયોગ કરવાની પ્રક્રિયાનો સંદર્ભ આપે છે.
પહેલાનો વિકલ્પ ફિલ્મ સામગ્રીને ગરમ કરીને અને બાષ્પીભવન કરીને ધાતુની વરાળ ઉત્પન્ન કરવાનો છે, જે ગેસ ડિસ્ચાર્જ પ્લાઝ્મા સ્પેસમાં આંશિક રીતે ધાતુની વરાળ અને ઉચ્ચ-ઊર્જા તટસ્થ અણુઓમાં આયનીકરણ થાય છે, અને ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્રની ક્રિયા દ્વારા ફિલ્મ બનાવવા માટે સબસ્ટ્રેટ સુધી પહોંચે છે; બાદમાં ઉચ્ચ-ઊર્જા આયનોનો ઉપયોગ કરે છે (ઉદાહરણ તરીકે, Ar+) ફિલ્મ સામગ્રીની સપાટી પર બોમ્બમારો કરે છે જેથી સ્પુટર કરેલા કણો ગેસ ડિસ્ચાર્જની જગ્યા દ્વારા આયન અથવા ઉચ્ચ-ઊર્જા તટસ્થ અણુઓમાં આયનીકરણ થાય, અને સબસ્ટ્રેટની સપાટીને ફિલ્મ બનાવવા માટે અનુભવાય.
આ લેખ ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ દ્વારા પ્રકાશિત કરવામાં આવ્યો છે, જે એક ઉત્પાદક છેવેક્યુમ કોટિંગ સાધનો
પોસ્ટ સમય: માર્ચ-૧૦-૨૦૨૩