'S e teicneòlas ùr làimhseachaidh uachdar a th' ann am platadh ian falamh (iarann platadh) a chaidh a leasachadh gu luath anns na 1970n, a chaidh a mholadh le DM Mattox bho Chompanaidh Somdia anns na Stàitean Aonaichte ann an 1963. Tha e a' toirt iomradh air a' phròiseas a bhith a' cleachdadh stòr falmhachaidh no targaid sputtering gus an stuth film a ghalachadh no a sputteradh san àile falamh.
Is e a’ chiad fhear ceò meatailt a chruthachadh le bhith a’ teasachadh agus a’ falmhachadh an stuth film, a tha air a ionachadh gu ìre gu ceò meatailt agus dadaman neodrach àrd-lùtha ann an àite plasma sgaoilidh gas, agus a’ ruighinn an t-substrate gus film a chruthachadh tro ghnìomhachd an achaidh dealain; bidh an tè mu dheireadh a’ cleachdadh ianan àrd-lùtha (Mar eisimpleir, Ar+) a’ bomadh uachdar an stuth film gus am bi na mìrean sputtered air an ionachadh gu bhith nan ianan no dadaman neodrach àrd-lùtha tron àite sgaoilidh gas, agus a’ tuigsinn uachdar an t-substrate gus film a chruthachadh.
Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua, neach-dèanamh deuidheam còmhdach falamh
Àm puist: 10 Màrt 2023