آبکاری یونی در خلاء (به اختصار آبکاری یونی) یک فناوری جدید برای عملیات سطحی است که در دهه 1970 به سرعت توسعه یافت و در سال 1963 توسط دی ام متوکس از شرکت سومدیا در ایالات متحده پیشنهاد شد. این فناوری به فرآیند استفاده از منبع تبخیر یا هدف پاشش برای تبخیر یا پاشش مواد فیلم در جو خلاء اشاره دارد.
روش اول تولید بخار فلزی با گرم کردن و تبخیر ماده فیلم است که تا حدی در فضای پلاسمای تخلیه گازی به بخار فلزی و اتمهای خنثی پرانرژی یونیزه میشود و از طریق میدان الکتریکی به زیرلایه میرسد تا یک فیلم تشکیل دهد؛ روش دوم با استفاده از یونهای پرانرژی (به عنوان مثال، Ar+) سطح ماده فیلم را بمباران میکند تا ذرات پراکنده شده از طریق فضای تخلیه گازی به یونها یا اتمهای خنثی پرانرژی یونیزه شوند و سطح زیرلایه را برای تشکیل یک فیلم تشکیل دهند.
این مقاله توسط گوانگدونگ ژنهوا، تولیدکننده ... منتشر شده است.تجهیزات پوششدهی در خلاء
زمان ارسال: ۱۰ مارس ۲۰۲۳