Dakigunez, erdieroaleen definizioa hauxe da: eroale lehorren eta isolatzaileen arteko eroankortasuna, eta metalaren eta isolatzailearen arteko erresistentzia, normalean giro-tenperaturan 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm tartean dagoena. Azken urteotan, hutsean dauden erdieroaleen estaldurak gero eta altuagoak direla argi dago erdieroaleen enpresa nagusietan, batez ere eskala handiko zirkuitu integratuetan garatzen diren teknologia-ikerketa metodoetan, bihurketa magnetoelektrikoko gailuetan, argi-igorle gailuetan eta bestelako garapen-lanetan. Hutsean dauden erdieroaleen estaldurak zeregin garrantzitsua du.
Erdieroaleak beren ezaugarri intrintsekoengatik, tenperaturagatik eta ezpurutasun-kontzentrazioagatik bereizten dira. Hutsean dauden erdieroaleen estaldura-materialak elkarrengandik bereizten dira batez ere osagaien konposatuengatik. Gutxi gorabehera guztiak boroan, karbonoan, silizioan, germanioan, artsenikoan, antimonioan, telurioan, iodoan eta abarretan oinarritzen dira, eta gutxi batzuk GaP, GaAs, lnSb eta abarretan. Oxido erdieroale batzuk ere badaude, hala nola FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O eta abar.
Hutsean lurruntzeak, sputtering bidezko estaldurak, ioi estaldurak eta beste ekipamendu batzuek hutsean erdieroaleen estaldura egin dezakete. Estaldura-ekipo hauek guztiak desberdinak dira beren funtzionamendu-printzipioan, baina guztiek substratuan metatzen den erdieroale materialaren estaldura egiten dute, eta substratuaren materiala denez, ez dago baldintzarik, erdieroalea izan daitekeen ala ez. Horrez gain, propietate elektriko eta optiko desberdinak dituzten estaldurak prestatu daitezke ezpurutasunen difusioaren eta ioien inplantazioaren bidez erdieroaleen substratuaren gainazalean tarte batean. Sortzen den geruza mehea erdieroaleen estaldura gisa ere prozesatu daiteke, oro har.
Hutsean erdieroaleen estaldura ezinbestekoa da elektronikan, gailu aktiboetarako zein pasiboetarako izan. Hutsean erdieroaleen estaldura teknologiaren etengabeko aurrerapenarekin, filmaren errendimenduaren kontrol zehatza posible bihurtu da.
Azken urteotan, estaldura amorfoak eta estaldura polikristalinoak aurrerapen azkarrak egin dituzte gailu fotoeroaleen, eremu-efektuko hodien eta eraginkortasun handiko eguzki-zelulen fabrikazioan. Gainera, hutsean dauden erdieroaleen estalduraren eta sentsoreen film mehearen garapenari esker, materiala hautatzeko zailtasuna nabarmen murrizten da eta fabrikazio-prozesua pixkanaka sinplifikatzen da. Hutsean dauden erdieroaleen estaldura-ekipoak ezinbesteko presentzia bihurtu dira erdieroaleen aplikazioetarako. Ekipamendua oso erabilia da kamera-gailuen erdieroaleen estaldurarako, eguzki-zelulen, transistore estalien, eremu-igorpenerako, katodo-argiaren, elektroi-igorpenerako, film meheko sentsore-elementuen eta abarren egiteko.
Magnetron sputtering estaldura-lerroa kontrol-sistema guztiz automatiko batekin diseinatuta dago, ukipen-pantaila eroso eta intuitiboko gizaki-makina interfaze batekin. Lerroa funtzio-menu oso batekin diseinatuta dago, ekoizpen-lerro osoko osagaien funtzionamendu-egoeraren, prozesu-parametroen ezarpenaren, funtzionamendu-babesaren eta alarma-funtzioen jarraipen osoa lortzeko. Kontrol-sistema elektriko osoa segurua, fidagarria eta egonkorra da. Goiko eta beheko alde bikoitzeko magnetron sputtering helburuarekin edo alde bakarreko estaldura-sistemarekin hornituta dago.
Ekipamendua batez ere zeramikazko zirkuitu-plaketan, txiparen goi-tentsioko kondentsadoreetan eta bestelako substratu-estalduratan aplikatzen da, aplikazio-eremu nagusiak zirkuitu elektronikoak dira.
Argitaratze data: 2022ko azaroaren 7a