Nagu me kõik teame, on pooljuhtide definitsioon selline, et kuivade juhtide ja isolaatorite vahel on juhtivus ning metalli ja isolaatori vahel takistus, mis toatemperatuuril on tavaliselt vahemikus 1 mΩ-cm kuni 1 GΩ-cm. Viimastel aastatel on vaakumpooljuhtkatte staatus suurtes pooljuhtide ettevõtetes selgelt tõusnud, eriti mõnedes suuremahulistes integreeritud süsteemide vooluahelate arendustehnoloogia uurimismeetodites, magnetoelektriliste muundusseadmete, valgust kiirgavate seadmete ja muude arendustööde puhul. Vaakumpooljuhtkatte olulisus on oluline.
Pooljuhte iseloomustavad nende sisemised omadused, temperatuur ja lisandite kontsentratsioon. Vaakumpooljuhtide kattematerjalid erinevad üksteisest peamiselt koostisosade poolest. Ligikaudu kõik need põhinevad booril, süsinikul, ränil, germaaniumil, arseenil, antimonil, telluuril, joodil jne ning suhteliselt vähestel GaP-l, GaAs-il, lnSb-l jne. Samuti on olemas oksiidpooljuhid, näiteks FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O jne.
Vaakum-aurustamine, pihustuskatmine, ioonkatmine ja muud seadmed võivad teostada vaakumpooljuhtkatmist. Need katmisseadmed on kõik oma tööpõhimõtte poolest erinevad, kuid kõik need valmistavad pooljuhtmaterjali kattematerjali aluspinnale sadestamiseks ning aluspinna materjali osas pole nõuet, kas see võib olla pooljuht või mitte. Lisaks saab pooljuhtaluspinna pinnale nii lisandite difusiooni kui ka ioonide implanteerimise teel valmistada erinevate elektriliste ja optiliste omadustega katteid. Saadud õhukest kihti saab töödelda ka üldiselt pooljuhtkattena.
Vaakumpooljuhtkate on elektroonikas asendamatu nii aktiivsete kui ka passiivsete seadmete puhul. Vaakumpooljuhtkatete tehnoloogia pideva arenguga on muutunud võimalikuks kile toimivuse täpne juhtimine.
Viimastel aastatel on amorfne ja polükristalliline kate fotojuhtivate seadmete, kaetud väljakiirgustorude ja suure efektiivsusega päikesepatareide tootmisel kiiresti arenenud. Lisaks on vaakumpooljuhtkatete ja andurite õhukese kile arendamise tõttu oluliselt vähenenud materjalivaliku raskus ja tootmisprotsess on järk-järgult lihtsustatud. Vaakumpooljuhtkatmisseadmed on pooljuhtide rakendustes muutunud vajalikuks. Seadmeid kasutatakse laialdaselt kaameraseadmete, päikesepatareide, kaetud transistoride, väljakiirguse, katoodvalguse, elektronkiirguse, õhukese kile andurite jms pooljuhtkatmiseks.
Magnetronpihustuskatmisliin on konstrueeritud täisautomaatse juhtimissüsteemiga ning mugava ja intuitiivse puutetundliku ekraaniga inimese-masina liidesega. Liin on varustatud täieliku funktsioonimenüüga, et saavutada kogu tootmisliini komponentide tööoleku täielik jälgimine, protsessi parameetrite seadistamine, töökaitse ja häirefunktsioonid. Kogu elektriline juhtimissüsteem on ohutu, usaldusväärne ja stabiilne. Varustatud ülemise ja alumise kahepoolse magnetronpihustuskatvkatte või ühepoolse katmissüsteemiga.
Seadmeid kasutatakse peamiselt keraamiliste trükkplaatide, kiibi kõrgepinge kondensaatorite ja muude aluspindade katmiseks, peamised rakendusvaldkonnad on elektroonilised trükkplaadid.
Postituse aeg: 07.11.2022