Vakuumionbelægning (forkortet ionbelægning) er en ny overfladebehandlingsteknologi, der udviklede sig hurtigt i 1970'erne og blev foreslået af DM Mattox fra Somdia Company i USA i 1963. Det refererer til processen med at bruge en fordampningskilde eller et sputteringsmål til at fordampe eller sputtere filmmaterialet i vakuumatmosfæren.
Førstnævnte er at generere metaldamp ved at opvarme og fordampe filmmaterialet, som delvist ioniseres til metaldamp og højenergineutrale atomer i gasudladningsplasmarummet og når substratet for at danne en film gennem virkningen af det elektriske felt; sidstnævnte bruger højenergiioner (for eksempel Ar+) til at bombardere overfladen af filmmaterialet, så de forstøvede partikler ioniseres til ioner eller højenergineutrale atomer gennem gasudladningsrummet og realiserer substratets overflade for at danne en film.
Denne artikel er udgivet af Guangdong Zhenhua, en producent afvakuumbelægningsudstyr
Opslagstidspunkt: 10. marts 2023