Soos ons almal weet, is die definisie van 'n halfgeleier dat dit 'n geleidingsvermoë tussen droë geleiers en isolators het, en die weerstand tussen metaal en isolator, wat gewoonlik by kamertemperatuur binne die reeks van 1mΩ-cm ~ 1GΩ-cm is. In onlangse jare het vakuum-halfgeleierbedekking in die groot halfgeleiermaatskappye duidelik geword dat die status daarvan toenemend hoog is, veral in sommige grootskaalse geïntegreerde stelselstroombaan-ontwikkelingstegnologie-navorsingsmetodes tot magneto-elektriese omskakelingstoestelle, liguitstralende toestelle en ander ontwikkelingswerk. Vakuum-halfgeleierbedekking speel 'n belangrike rol.
Halfgeleiers word gekenmerk deur hul intrinsieke eienskappe, temperatuur en onsuiwerheidskonsentrasie. Vakuum-halfgeleierbedekkingsmateriale word hoofsaaklik van mekaar onderskei deur hul samestellende verbindings. Rofweg almal is gebaseer op boor, koolstof, silikon, germanium, arseen, antimoon, telluur, jodium, ens., en sommige relatief min GaP, GaAs, lnSb, ens. Daar is ook sommige oksied-halfgeleiers, soos FeO, Fe₂O₃, MnO, Cr₂O₃, Cu₂O, ens.
Vakuumverdamping, verstuiwingsbedekking, ioonbedekking en ander toerusting kan vakuum-halfgeleierbedekking doen. Hierdie bedekkingstoerusting verskil almal in hul werkbeginsel, maar hulle maak almal dat die halfgeleiermateriaalbedekkingsmateriaal op die substraat neergelê word, en as die materiaal van die substraat is daar geen vereiste dat dit 'n halfgeleier kan wees of nie. Daarbenewens kan bedekkings met verskillende elektriese en optiese eienskappe voorberei word deur beide onsuiwerheidsdiffusie en iooninplanting op die oppervlak van die halfgeleiersubstraat in 'n reeks. Die gevolglike dun laag kan ook as 'n halfgeleierbedekking in die algemeen verwerk word.
Vakuumhalgeleierbedekking is 'n onontbeerlike teenwoordigheid in elektronika, of dit nou vir aktiewe of passiewe toestelle is. Met die voortdurende vooruitgang van vakuumhalgeleierbedekkingstegnologie het presiese beheer van filmprestasie moontlik geword.
In onlangse jare het amorfe bedekkings en polikristallyne bedekkings vinnige vordering gemaak in die vervaardiging van fotogeleidende toestelle, bedekte veldeffekbuise en hoë-doeltreffendheid sonselle. Boonop, as gevolg van die ontwikkeling van vakuum-halfgeleierbedekking en die dun film van sensors, wat ook die moeilikheidsgraad van materiaalkeuse aansienlik verminder en die vervaardigingsproses geleidelik vereenvoudig. Vakuum-halfgeleierbedekkingstoerusting het 'n noodsaaklike teenwoordigheid geword vir halfgeleiertoepassings. Die toerusting word wyd gebruik vir halfgeleierbedekking van kameratoestelle, sonselle, bedekte transistors, veldemissie, katode-lig, elektronemissie, dun filmsensorelemente, ens.
Die magnetron-sputterbedekkingslyn is ontwerp met 'n volledig outomatiese beheerstelsel, 'n gerieflike en intuïtiewe raakskerm mens-masjien-koppelvlak. Die lyn is ontwerp met 'n volledige funksie-kieslys om volledige monitering van die bedryfsstatus vir die hele produksielynkomponente, prosesparameterinstelling, bedryfsbeskerming en alarmfunksies te bewerkstellig. Die hele elektriese beheerstelsel is veilig, betroubaar en stabiel. Toegerus met 'n boonste en onderste dubbelsydige magnetron-sputterteiken of enkelsydige bedekkingstelsel.
Die toerusting word hoofsaaklik toegepas op keramiekstroombaanborde, skyfie-hoëspanningskondensators en ander substraatbedekkings, die hooftoepassingsareas is elektroniese stroombaanborde.
Plasingstyd: 7 Nov 2022