Iboju ion Vacuum (ti a tọka si bi ion plating) jẹ Amẹrika ni ọdun 1963 ile-iṣẹ Somdia DM Mattox ti dabaa, awọn ọdun 1970 ti jẹ idagbasoke iyara ti imọ-ẹrọ itọju dada tuntun kan. O tọka si awọn lilo ti awọn evaporation orisun tabi sputtering ibi-afẹde ni a igbale bugbamu ki awọn ohun elo fiimu evaporation tabi sputtering, evaporation tabi sputtering jade ti apa kan ninu awọn patikulu ni gaasi itusilẹ aaye ionized sinu irin ions.
Awọn patikulu wọnyi ti wa ni ipamọ lori sobusitireti labẹ iṣẹ ti aaye ina lati ṣe agbekalẹ ilana fiimu tinrin.
Igbale ion plating ti ọpọlọpọ awọn iru, nigbagbogbo ni ibamu si awọn awo awo lati gbe awọn ion orisun yoo wa ni pin si meji orisi: evaporation orisun iru ion plating ati sputtering afojusun iru ion plating. Awọn tele ti wa ni evaporated nipa alapapo awọn ohun elo fiimu lati gbe awọn irin vapors, ki o ti wa ni apa kan ionized sinu irin vapors ati ki o ga-agbara awọn ọta didoju ni awọn aaye ti awọn pilasima itujade gaasi, nipasẹ awọn ipa ti awọn ina aaye lati de ọdọ awọn sobusitireti lati se ina tinrin fiimu; igbehin ni lilo awọn ions agbara-giga (fun apẹẹrẹ, Ar +) lori oju ti awọn ohun elo fiimu naa bombardment lati jẹ ki sputtering jade ti awọn patikulu nipasẹ awọn aaye ti gaasi itujade ionized sinu ions tabi ga-agbara didoju awọn ọta, lati de awọn dada ti awọn sobusitireti ati ki o gbe awọn fiimu.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-07-2024