Ti a ṣe afiwe pẹlu fifin evaporation ati itọlẹ sputtering, ẹya pataki julọ ti ion plating ni pe awọn ions ti o ni agbara bombard sobusitireti ati ipele fiimu lakoko ti ifisilẹ waye. Awọn bombardment ti awọn ions ti o gba agbara ṣe agbejade lẹsẹsẹ awọn ipa, ni pataki bi atẹle.
① Membrane / ipilẹ imora agbara (adhesion) lagbara, Layer fiimu ko rọrun lati ṣubu nitori ion bombardment ti sobusitireti ti ipilẹṣẹ nipasẹ ipa sputtering, ki sobusitireti ti wa ni ti mọtoto, mu ṣiṣẹ ati kikan, kii ṣe lati yọ adsorption ti gaasi lori dada ti sobusitireti ati Layer ti a ti doti, ṣugbọn tun yọ awọn sobusitireti kuro. Ion bombardment ti alapapo ati awọn abawọn le jẹ ṣẹlẹ nipasẹ imudara itanka ipa ti sobusitireti, mejeeji lati mu awọn ohun-ini crystalline ti agbari Layer dada sobusitireti, ṣugbọn tun pese awọn ipo fun dida awọn ipele alloy; ati bombardment ion agbara ti o ga julọ, ṣugbọn tun ṣe agbejade iye kan ti gbingbin ion ati ipa dapọ ion tan ina.
② Ion ti a bo nitori lati gbe awọn ti o dara bypassing Ìtọjú ninu ọran ti o ga titẹ (tobi ju tabi dogba si 1Pa) ti wa ni ionized oru ions tabi moleku ninu awọn oniwe-ajo si awọn sobusitireti ṣaaju ki o to gaasi moleku yoo ba pade awọn nọmba kan ti collisions, ki awọn fiimu patikulu le ti wa ni tuka ni ayika sobusitireti, nitorina imudarasi awọn agbegbe ti awọn fiimu Layer; ati awọn patikulu fiimu ionized yoo tun wa ni ipamọ labẹ iṣe ti aaye ina lori dada ti sobusitireti pẹlu foliteji odi Eyikeyi ipo lori dada ti sobusitireti pẹlu foliteji odi, eyiti ko le ṣe aṣeyọri nipasẹ fifin evaporation.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Jan-12-2024