① Ion beam iranlọwọ imọ-ẹrọ imọ-jinlẹ jẹ ifihan nipasẹ ifaramọ to lagbara laarin fiimu ati sobusitireti, Layer fiimu naa lagbara pupọ. Awọn adanwo ti fihan pe: Ioni tan ina iranlọwọ iranlọwọ ifisilẹ ti ifaramọ ju ifaramọ ti itusilẹ igbona ti o pọ si ni ọpọlọpọ igba si awọn ọgọọgọrun awọn akoko, idi jẹ pataki nitori bombardment ion lori dada ti ipa mimọ, nitorinaa wiwo ipilẹ awo awo lati ṣe agbekalẹ ọna interfacial gradient, tabi ipele iyipada arabara, ati lati dinku aapọn ti awo awọ.
② Ion beam iranlọwọ ifisilẹ le mu awọn ohun-ini ẹrọ ti fiimu naa pọ si, fa igbesi aye rirẹ, ti o dara pupọ fun igbaradi ti awọn oxides, carbides, cubic BN, TiB: ati awọn aṣọ-ọṣọ ti o dabi diamond. Fun apẹẹrẹ, ni 1Crl8Ni9Ti ooru-sooro irin lori awọn lilo ti ion tan ina-iranlọwọ awọn imo ifisilẹ lati dagba 200nm SiN, tinrin fiimu, ko nikan le dojuti awọn farahan ti rirẹ dojuijako lori dada ti awọn ohun elo, sugbon tun le significantly din rirẹ kiraki oṣuwọn, lati fa awọn oniwe-aye ni o ni kan ti o dara ipa.
③ Ififunni iranlọwọ Ion beam le yi iru aapọn ti fiimu naa pada ati awọn iyipada igbekalẹ crystalline rẹ. Fun apẹẹrẹ, igbaradi ti fiimu Cr pẹlu 11.5keV Xe + tabi Ar + bombardment ti dada sobusitireti, rii pe atunṣe ti iwọn otutu sobusitireti, agbara ion bombardment, ion ati ipin dide atomu ati awọn aye miiran, le ṣe aapọn lati fifẹ si aapọn compressive, ilana gara ti fiimu naa yoo tun ṣe awọn ayipada. Labẹ ipin kan ti awọn ions si awọn ọta, ifisilẹ iranlọwọ tan ina ion ni iṣalaye yiyan ti o dara julọ ju Layer awo awo ti a fi silẹ nipasẹ ifisilẹ oru ooru.
④ Ion beam iranlọwọ ifisilẹ le mu awọn ipata resistance ati ifoyina resistance ti awọn awo. Bi awọn ion tan ina iranlọwọ ti awọn iwadi oro ti awọn awo Layer jẹ ipon, awọn awopọ mimọ ni wiwo igbekale igbekale tabi awọn Ibiyi ti amorphous ipinle ṣẹlẹ nipasẹ awọn disappearance ti awọn ọkà aala laarin awọn patikulu, eyi ti o jẹ conducive si imudara ti ipata resistance ati ifoyina resistance ti awọn ohun elo.
Mu ilọsiwaju ipata ti ohun elo jẹ ki o koju ipa oxidizing ti iwọn otutu giga.
(5) Iṣeduro iranlọwọ ion tan ina le yi awọn ohun-ini itanna ti fiimu naa pada ki o mu iṣẹ ṣiṣe ti awọn fiimu tinrin opiti pọ si. (6) Ififunni iranlọwọ Ion ngbanilaaye idagbasoke ti ọpọlọpọ awọn fiimu tinrin ni awọn iwọn otutu kekere ati yago fun awọn ipa buburu lori awọn ohun elo tabi awọn ẹya deede ti yoo ṣẹlẹ nipasẹ itọju ni awọn iwọn otutu giga, nitori pe awọn aye ti o ni ibatan si ifisilẹ atomiki ati gbin ion le ṣe atunṣe ni deede ati ni ominira, ati awọn aṣọ ti awọn micrometers diẹ pẹlu akopọ ibamu le jẹ ipilẹṣẹ nigbagbogbo ni kekere bombardment ene.
Akoko ifiweranṣẹ: Mar-07-2024