וואַקוום יאָן קאָוטינג (באַצייכנט ווי יאָן פּלייטינג) איז אַ פּראָפּאָזירט דורך דער פירמע DM Mattox אין די פאַראייניקטע שטאַטן אין 1963. אין די 1970ער יאָרן איז געווען אַ שנעלע אַנטוויקלונג פון אַ נייער טעכנאָלאָגיע פֿאַר ייבערפלאַך באַהאַנדלונג. דאָס באַציט זיך צו דער נוצן פון אַ פֿאַרדאַמפּונג מקור אָדער שפּאַטערינג ציל אין אַ וואַקוום אַטמאָספֿערע, אַזוי אַז די פילם מאַטעריאַל פֿאַרדאַמפּט אָדער שפּאַטערט, און טייל פֿון די פּאַרטיקלען אין דעם גאַז אָפּזאָגן פּלאַץ ווערן יאָניזירט אין מעטאַל יאָנען.
די פּאַרטיקלען ווערן דעפּאַזיטירט אויף דעם סאַבסטראַט אונטער דער אַקציע פון עלעקטריש פעלד צו דזשענערירן אַ דין פילם פּראָצעס.
וואַקוום יאָן פּלייטינג איז פֿאַרשידענע מינים, געוויינטלעך לויטן מעמבראַן מאַטעריאַל צו פּראָדוצירן די יאָן מקור וועט ווערן צעטיילט אין צוויי טיפּן: פֿאַרדאַמפּונג מקור טיפּ יאָן פּלייטינג און ספּאַטערינג ציל טיפּ יאָן פּלייטינג. די ערשטע איז די פֿאַרדאַמפּונג דורך וואַרעמען דעם פילם מאַטעריאַל צו פּראָדוצירן מעטאַל פארע, אַזוי אַז עס ווערט טיילווייז ייאַנייזד אין מעטאַל פארע און הויך-ענערגיע נייטראַל אַטאָמען אין דעם פּלאַץ פון די גאַז דיסטשאַרדזש פּלאַזמע, דורך די ראָלע פון אַן עלעקטריש פעלד צו דערגרייכן די סאַבסטראַט צו דזשענערייט דין פילמס; די לעצטע איז די נוצן פון הויך-ענערגיע יאָנען (למשל, Ar+) אויף די ייבערפלאַך פון די פילם מאַטעריאַל באָמבאַרדירן צו מאַכן די ספּאַטערינג אויס פון די פּאַרטיקאַלז דורך דעם פּלאַץ פון גאַז דיסטשאַרדזש יאָניזירט אין יאָנען אָדער הויך-ענערגיע נייטראַל אַטאָמען, צו דערגרייכן די ייבערפלאַך פון די סאַבסטראַט און דזשענערייט די פילם.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 7טן מערץ 2024

