So với mạ bốc hơi và mạ phun, đặc điểm quan trọng nhất của mạ ion là các ion năng lượng bắn phá chất nền và lớp màng trong khi lắng đọng diễn ra. Sự bắn phá của các ion tích điện tạo ra một loạt các hiệu ứng, chủ yếu như sau.
① Lực liên kết màng/cơ sở (độ bám dính) mạnh, lớp màng không dễ rơi ra do sự bắn phá ion của chất nền do hiệu ứng phun tạo ra, do đó chất nền được làm sạch, hoạt hóa và gia nhiệt, không chỉ để loại bỏ sự hấp phụ của khí trên bề mặt chất nền và lớp bị ô nhiễm, mà còn để loại bỏ bề mặt của các oxit chất nền. Sự bắn phá ion của nhiệt và các khuyết tật có thể được gây ra bởi hiệu ứng khuếch tán tăng cường của chất nền, vừa cải thiện các tính chất tinh thể của tổ chức lớp bề mặt chất nền, mà còn cung cấp các điều kiện để hình thành các pha hợp kim; và sự bắn phá ion năng lượng cao hơn, nhưng cũng tạo ra một lượng cấy ghép ion và hiệu ứng trộn chùm ion nhất định.
② Lớp phủ ion do tạo ra bức xạ bỏ qua tốt trong trường hợp áp suất cao hơn (lớn hơn hoặc bằng 1Pa) là các ion hơi bị ion hóa hoặc các phân tử trong hành trình của nó đến chất nền trước khi các phân tử khí sẽ gặp phải một số va chạm, do đó các hạt màng có thể được phân tán xung quanh chất nền, do đó cải thiện phạm vi bao phủ của lớp màng; và các hạt màng bị ion hóa cũng sẽ được lắng đọng dưới tác động của trường điện trên bề mặt chất nền với điện áp âm Bất kỳ vị trí nào trên bề mặt chất nền có điện áp âm, điều mà không thể đạt được bằng mạ bay hơi.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 12-01-2024