Bug'lanish qoplamasi va purkash qoplamasi bilan solishtirganda, ion qoplamasining eng muhim xususiyati shundaki, energetik ionlar cho'kma sodir bo'lganda substrat va plyonka qatlamini bombardimon qiladi. Zaryadlangan ionlarni bombardimon qilish, asosan, quyidagi kabi bir qator effektlarni keltirib chiqaradi.
① Membrana / asosni bog'lash kuchi (yopishqoqlik) kuchli, plyonka qatlami purkash effekti natijasida hosil bo'lgan substratning ion bombardimoni tufayli tushishi oson emas, shuning uchun substrat tozalanadi, faollashadi va isitiladi, nafaqat substrat yuzasida gazning adsorbsiyasini va ifloslangan qatlamni, balki substrat yuzasini ham olib tashlash uchun. Isitish va nuqsonlarning ion bombardimoni substratning diffuziya ta'sirining kuchayishi tufayli yuzaga kelishi mumkin, ham substratning sirt qatlamini tashkil qilishning kristalli xususiyatlarini yaxshilash, balki qotishma fazalarini shakllantirish uchun sharoitlarni ham ta'minlaydi; va yuqori energiyali ion bombardimoni, balki ma'lum miqdorda ion implantatsiyasi va ion nurlarini aralashtirish effektini ham ishlab chiqaradi.
② Yuqori bosim (1Pa dan katta yoki unga teng) bo'lgan taqdirda yaxshi chetlab o'tuvchi nurlanishni keltirib chiqaradigan ion qoplamasi gaz molekulalari bir qator to'qnashuvlarga duch kelgunga qadar ionlangan bug 'ionlari yoki molekulalarning substratga yo'l olishida sodir bo'ladi, shuning uchun plyonka zarralari plyonka qatlami atrofida tarqalib ketishi mumkin; va ionlashtirilgan plyonka zarralari ham salbiy kuchlanishli substrat yuzasida elektr maydonining ta'siri ostida cho'kadi. Bug'lanish qoplamasi bilan erishib bo'lmaydigan salbiy kuchlanishli substrat yuzasida har qanday pozitsiya.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Xabar vaqti: 2024 yil 12-yanvar