① Ion nurlari yordamida cho'kma texnologiyasi plyonka va substrat o'rtasida kuchli yopishish bilan tavsiflanadi, plyonka qatlami juda kuchli. Tajribalar shuni ko'rsatdiki: ion nurlari bilan biriktirilishi issiqlik bug'ining yopishishiga qaraganda bir necha marta yuzlab marta ko'paydi, buning sababi, asosan, tozalash effektining yuzasida ion bombardimoniga bog'liq bo'lib, membrana bazasi interfeysi gradient interfaal strukturani yoki gibrid o'tish qatlamini hosil qiladi, shuningdek membrananing kuchlanishini kamaytiradi.
② Ion nurlari yordamida yotqizish plyonkaning mexanik xususiyatlarini yaxshilaydi, charchoq muddatini uzaytiradi, oksidlar, karbidlar, kubik BN, TiB: va olmosga o'xshash qoplamalarni tayyorlash uchun juda mos keladi. Misol uchun, 1Crl8Ni9Ti issiqlikka bardoshli po'latdan 200nm SiN, yupqa plyonkani o'stirish uchun ion nurli cho'kma texnologiyasidan foydalanish bo'yicha, nafaqat material yuzasida charchoq yoriqlari paydo bo'lishiga to'sqinlik qilishi, balki charchoq yoriqlarining tarqalish tezligini sezilarli darajada kamaytirishi mumkin, uning ishlash muddatini uzaytirish uchun yaxshi rol o'ynaydi.
③ Ion nurlari yordamida cho'kma plyonkaning kuchlanish tabiatini o'zgartirishi va uning kristalli tuzilishini o'zgartirishi mumkin. Masalan, 11,5keV Xe + yoki Ar + substrat yuzasini bombardimon qilish bilan Cr plyonkasini tayyorlash, substrat haroratini, bombardimon ion energiyasini, ion va atomning kelish nisbatini va boshqa parametrlarni sozlash kuchlanishni kuchlanishdan siqish kuchlanishiga olib kelishi mumkinligini aniqladi, plyonkaning kristal tuzilishi ham o'zgarishlarga olib keladi. Ionlarning atomlarga ma'lum nisbati ostida, ion nurlari yordamida cho'kma termal bug 'cho'kmasi bilan yotqizilgan membrana qatlamiga qaraganda yaxshiroq tanlangan yo'nalishga ega.
④ Ion nurlari yordamida cho'kish membrananing korroziyaga chidamliligi va oksidlanish qarshiligini oshirishi mumkin. Membrana qatlamining ion nurlari yordamida cho'kishi zich bo'lganligi sababli, membrana bazasi interfeysi tuzilishi yaxshilanadi yoki zarralar orasidagi don chegarasining yo'qolishi natijasida amorf holat hosil bo'ladi, bu materialning korroziyaga chidamliligi va oksidlanish qarshiligini oshirishga yordam beradi.
Materialning korroziyaga chidamliligini oshiring va yuqori haroratning oksidlovchi ta'siriga qarshi turing.
(5) Ion nurlari yordamida yotqizish filmning elektromagnit xususiyatlarini o'zgartirishi va optik nozik plyonkalarning ish faoliyatini yaxshilashi mumkin. (6) Ion yordamida cho'kma past haroratlarda turli xil yupqa plyonkalarning o'sishiga imkon beradi va yuqori haroratlarda ishlov berish natijasida yuzaga keladigan materiallar yoki nozik qismlarga salbiy ta'sirlardan qochadi, chunki atomik cho'kma va ion implantatsiyasi bilan bog'liq parametrlar aniq va mustaqil ravishda sozlanishi va doimiy tarkibga ega bir necha mikrometrli qoplamalar past bombardimonlarda doimiy ravishda yaratilishi mumkin.
Yuborilgan vaqt: 2024-yil 07-mart