① آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے والی ٹیکنالوجی فلم اور سبسٹریٹ کے درمیان مضبوط آسنجن کی طرف سے خصوصیات ہے، فلم کی پرت بہت مضبوط ہے. تجربات سے پتہ چلتا ہے کہ: تھرمل بخارات جمع کرنے کے آسنجن کے مقابلے میں آئن بیم کی مدد سے آسنجن جمع کرنے میں کئی گنا اضافہ ہوا ہے، جس کی وجہ بنیادی طور پر صفائی کے اثر کی سطح پر آئن بمباری ہے، تاکہ جھلی کی بنیاد کا انٹرفیس ایک تدریجی انٹرفیشل ڈھانچہ تشکیل دے، یا ہائبرڈ ٹرانزیشن پرت کے طور پر دباؤ کو کم کرے۔
② آئن بیم کی مدد سے جمع فلم کی مکینیکل خصوصیات کو بہتر بنا سکتا ہے، تھکاوٹ کی زندگی کو بڑھا سکتا ہے، آکسائڈ، کاربائڈ، کیوبک بی این، ٹی بی: اور ہیرے کی طرح کی کوٹنگز کی تیاری کے لیے بہت موزوں ہے۔ مثال کے طور پر، 200nm SiN، پتلی فلم کو اگانے کے لیے آئن بیم کی مدد سے جمع کرنے والی ٹیکنالوجی کے استعمال پر 1Crl8Ni9Ti گرمی سے بچنے والے اسٹیل میں، نہ صرف مواد کی سطح پر تھکاوٹ کی دراڑوں کے ظہور کو روک سکتا ہے، بلکہ تھکاوٹ کے شگاف کے پھیلاؤ کی شرح کو بھی نمایاں طور پر کم کر سکتا ہے، اس کی زندگی کو بڑھانے کے لیے اس کا کردار اچھا ہے۔
③ آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے سے فلم کے تناؤ کی نوعیت اور اس کی کرسٹل لائن کی ساخت میں تبدیلی آ سکتی ہے۔ مثال کے طور پر، سبسٹریٹ سطح کی 11.5keV Xe + یا Ar + بمباری کے ساتھ Cr فلم کی تیاری، پتہ چلا کہ سبسٹریٹ درجہ حرارت، بمباری آئن توانائی، آئن اور ایٹم کی آمد کے تناسب اور دیگر پیرامیٹرز کی ایڈجسٹمنٹ، تناؤ کو تناؤ سے کمپریسیو دباؤ بنا سکتی ہے، فلم کا کرسٹل ڈھانچہ بھی تبدیلیاں پیدا کرے گا۔ آئنوں کے ایٹموں کے ایک خاص تناسب کے تحت، آئن بیم کی مدد سے جمع ہونے والی جھلی کی تہہ سے بہتر انتخابی واقفیت ہوتی ہے جو تھرمل بخارات کے جمع ہونے سے ہوتی ہے۔
④ آئن بیم کی مدد سے جمع جھلی کی سنکنرن مزاحمت اور آکسیکرن مزاحمت کو بڑھا سکتا ہے۔ جیسا کہ آئن بیم کی مدد سے جھلی کی تہہ کی جمع ہوتی ہے، جھلی کی بنیاد کے انٹرفیس کی ساخت میں بہتری یا ذرات کے درمیان اناج کی حد کے غائب ہونے کی وجہ سے بے ساختہ حالت کی تشکیل، جو مواد کی سنکنرن مزاحمت اور آکسیڈیشن مزاحمت کو بڑھانے کے لیے سازگار ہے۔
مواد کی سنکنرن مزاحمت کو بہتر بنائیں اور اعلی درجہ حرارت کے آکسائڈائزنگ اثر کے خلاف مزاحمت کریں۔
(5) آئن بیم کی مدد سے جمع فلم کی برقی مقناطیسی خصوصیات کو تبدیل کر سکتا ہے اور آپٹیکل پتلی فلموں کی کارکردگی کو بہتر بنا سکتا ہے۔ (6) آئن اسسٹڈ ڈپوزیشن کم درجہ حرارت پر مختلف پتلی فلموں کی نشوونما کی اجازت دیتا ہے اور مواد یا درست حصوں پر ان منفی اثرات سے بچتا ہے جو اعلی درجہ حرارت پر علاج کی وجہ سے ہوں گے، کیونکہ جوہری جمع اور آئن امپلانٹیشن سے متعلق پیرامیٹرز کو درست اور آزادانہ طور پر ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے، اور چند مائیکرو میٹر کی کوٹنگز کو مسلسل کم درجہ حرارت پر کنٹرول کیا جا سکتا ہے۔ توانائیاں
پوسٹ ٹائم: مارچ 07-2024

