ۋاكۇئۇم ئىئون سىرلاش (ئىئون تەخسىسى دېيىلىدۇ) ئامېرىكا 1963-يىلى سومدىيا شىركىتى DM Mattox ئوتتۇرىغا قويغان ئامېرىكا ، ئالدىنقى ئەسىرنىڭ 70-يىللىرى يېڭى يۈزەكى داۋالاش تېخنىكىسىنىڭ تېز تەرەققىي قىلىشى. ئۇ ۋاكۇئۇملۇق ئاتموسفېرادا پارغا ئايلىنىش مەنبەسى ياكى پۈركۈش نىشانىنى ئىشلىتىشنى كۆرسىتىدۇ ، بۇنداق بولغاندا كىنو ماتېرىياللىرىنىڭ پارغا ئايلىنىشى ياكى پارچىلىنىشى ، پارغا ئايلىنىشى ياكى گاز قويۇپ بېرىش بوشلۇقىدىكى زەررىچىلەرنىڭ بىر قىسمى مېتال ئىئونغا ئايلىنىدۇ.
بۇ زەررىچىلەر ئېلېكتر مەيدانىنىڭ ھەرىكىتى ئاستىدا ئاستى قىسمىغا قويۇلۇپ ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ.
ۋاكۇئۇملۇق ئىئون تاختىلىرى كۆپ خىل بولىدۇ ، ئادەتتە پەردە ماتېرىيالىغا ئاساسەن ئىئون مەنبەسىنى ھاسىل قىلىدۇ. ئالدىنقىسى مېتال ماتېرىياللارنى قىزىتىش ئارقىلىق پارغا ئايلىنىپ ، مېتال ھور ھاسىل قىلىدۇ ، شۇڭا ئۇ قىسمەن مېتال پارلار ۋە گاز قويۇپ بېرىش پلازمىسى بوشلۇقىدىكى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتومغا ئايلىنىدۇ ، ئېلېكتر مەيدانىنىڭ رولى ئارقىلىق يەر ئاستىغا يېتىپ نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ. كېيىنكىسى بولسا يۇقىرى ماتېرىياللىق ئىئون (مەسىلەن ، Ar +) نى ئىشلىتىپ ماتېرىيال ماتېرىيال بومبىسى يۈزىدە ئىئون ياكى يۇقىرى ئېنېرگىيىلىك نېيترال ئاتومغا ئايلانغان گاز قويۇپ بېرىش بوشلۇقى ئارقىلىق زەررىچىلەردىن چىقىپ كېتىشنى ھاسىل قىلىپ ، يەر ئاستى يۈزىگە يېتىپ كېلىپ ، فىلىم ھاسىل قىلىدۇ.
–بۇ ماقالە ئېلان قىلىندىۋاكۇئۇم سىرلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
يوللانغان ۋاقتى: 07-مارتتىن 20-مارتقىچە