Вакуум ион каплавы (ион белән каплау дип атала) АКШ - 1963-нче елда Сомдия компаниясе DM Mattox тәкъдим иткән, 1970-нче еллар яңа өслекне эшкәртү технологиясенең тиз үсеше. Бу вакуум атмосферасында парга әйләнү чыганагын яки пычрату максатын куллануны аңлата, шулай итеп кино материалы парга әйләнү яки бөтерелү, парга әйләнү яки газ чыгару киңлегендәге кисәкчәләрнең бер өлеше металл ионнарына ионлаштырылган.
Бу кисәкчәләр нечкә кино процессын тудыру өчен электр кыры тәэсирендә субстратка урнаштырыла.
Күп төрле вакуум ион белән каплау, гадәттә мембрана материалы буенча, ион чыганагын чыгару ике төргә бүленәчәк: парга әйләнү чыганагы ион белән каплау һәм максатчан тип ион белән каплау. Элеккеге металл парлар чыгару өчен кино материалын җылытып парга әйләнәләр, шулай итеп ул өлешчә металл парларга һәм газ чыгару плазмасы киңлегендә югары энергияле нейтраль атомнарга, электр кыры роле аша нечкә пленкалар тудыру өчен; соңгысы - югары материаллы ионнарны куллану (мәсәлән, Ar +) фильм материалы бомбардирациясендә ионнарга яки югары энергияле нейтраль атомнарга ионлаштырылган газ агызу киңлеге аша кисәкчәләрдән чыгу, субстрат өслегенә барып кино ясау.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 07-2024 март