Парга әйләнү һәм бөтерелгән каплау белән чагыштырганда, ион каплауның иң мөһим үзенчәлеге - энергияле ионнар субстратны һәм кино катламын бомбардировать иткәндә. Корылмалы ионнарны бомбардировать итү, нигездә, түбәндәгечә берничә эффект китерә.
① Мембрана / төп бәйләү көче (ябышу) көчле, кино катламы егылу җиңел түгел, шуңа күрә субстрат чистартыла, активлаштырыла һәм җылытыла, субстрат өслегендәге газның adsorbsiya гына түгел, ә субстрат оксидлары өслеген дә чыгару. Ион җылыту һәм җитешсезлекләрне бомбардировать итү субстратның көчәйтелгән диффузия эффекты аркасында булырга мөмкин, субстрат өслек катламының кристалл үзлекләрен яхшырту өчен, шулай ук эретелгән этаплар формалашу өчен шартлар тудыра; һәм югары энергия ион бомбардирасы, шулай ук билгеле күләмдә ион имплантациясе һәм ион нурларын катнаштыру эффектын чыгара.
Pressure югары басым булган очракта (1Падан зуррак яки тигез) яхшы әйләнеп узучы нурланыш җитештерү аркасында ион каплавы ионлаштырылган пар ионнары яки газ молекулалары берничә бәрелешкә дучар булганчы субстратка сәяхәт иткәндә, кино кисәкчәләре субстрат тирәсендә таралырга мөмкин, шулай итеп кино катламын каплауны яхшыртырга мөмкин; һәм ионлаштырылган пленка кисәкчәләре шулай ук тискәре көчәнеш белән субстрат өслегендәге электр кыры тәэсирендә урнаштырылачак, субстрат өслегендә тискәре көчәнеш булган теләсә нинди позиция, парга әйләнү белән ирешеп булмый.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 12-2024 гыйнвар