① Ион нуры ярдәмендә чүпләү технологиясе фильм белән субстрат арасында нык ябышу белән характерлана, кино катламы бик көчле. Тикшеренүләр күрсәткәнчә: җылылык парының ябышуына караганда, ион нуры ябыштыруны берничә тапкыр йөзләгән тапкыр арттырган, сәбәбе нигездә чистарту эффекты өслегендә ион бомбардирасы аркасында, мембрананың төп интерфейсы градиент интерфейс структурасын, яки гибрид күчү катламын киметү өчен.
On Ион нуры ярдәмендә фильмның механик үзлекләрен яхшырта, ару гомерен озайта ала, оксидлар, карбидлар, куб BN, TiB: һәм бриллиант сыман каплаулар әзерләү өчен бик яраклы. Мисал өчен, 1Crl8Ni9Ti җылылыкка чыдам корыч, 200nm SiN, нечкә пленка үстерү өчен, ион нурлары ярдәмендә чүпләү технологиясен кулланып, материал өслегендә ару ярыкларының барлыкка килүен тыя алмый, шулай ук ару яракларының таралу дәрәҗәсен сизелерлек киметә ала, аның гомерен озайту яхшы роль уйный.
On Ион нуры ярдәмендә фильмның стресс табигатен һәм аның кристалл структурасы үзгәрергә мөмкин. Мәсәлән, Cr фильмын 11.5keV Xe + яки Ar + субстрат өслеген бомбардировать итү, субстрат температурасын көйләү, бомбардировщик ион энергиясе, ион һәм атом килү коэффициенты һәм башка параметрлар стрессны киеренкелектән кысу стрессына китерә ала, фильмның кристалл структурасы да үзгәрешләр китерәчәк. Ионнарның атомнар белән билгеле бер катнашлыгында, ион нурлары ярдәмендә җылылык парлары урнаштырылган мембрана катламына караганда яхшырак сайлап алу юнәлеше бар.
On Ион нуры ярдәмендә чүпләнү коррозиягә каршы торуны һәм мембрананың оксидлашу каршылыгын көчәйтә ала. Мембрана катламының ион нуры булышуы тыгыз булганлыктан, мембрананың төп интерфейс структурасы яхшыра яки кисәкчәләр арасындагы ашлык чикләренең юкка чыгуы аркасында аморф халәте барлыкка килә, бу коррозиягә каршы торуны көчәйтә һәм материалның оксидлашу каршылыгын көчәйтә.
Материалның коррозиягә каршы торышын көчәйтегез һәм югары температураның оксидлаштыручы эффектына каршы торыгыз.
(5) Ион нурлары ярдәмендә фильмның электромагнит үзлекләрен үзгәртә һәм оптик нечкә фильмнарның эшләвен яхшырта ала. .
Пост вакыты: 07-2024 март

