Buharlaştırma kaplama ve püskürtme kaplama ile karşılaştırıldığında, iyon kaplamanın en önemli özelliği, biriktirme gerçekleşirken enerjik iyonların alt tabakayı ve film tabakasını bombardıman etmesidir. Yüklü iyonların bombardımanı, esas olarak aşağıdaki gibi bir dizi etki üretir.
① Membran/taban bağlanma kuvveti (yapışma) güçlüdür, püskürtme etkisiyle oluşan alt tabakanın iyon bombardımanı nedeniyle film tabakasının düşmesi kolay değildir, böylece alt tabaka temizlenir, aktive edilir ve ısıtılır, sadece gazın alt tabakanın yüzeyindeki ve kirlenmiş tabakadaki adsorpsiyonunu gidermekle kalmaz, aynı zamanda alt tabaka oksitlerinin yüzeyini de giderir. Isınma ve kusurların iyon bombardımanı, alt tabakanın gelişmiş difüzyon etkisinden kaynaklanabilir, hem alt tabaka yüzey tabakası organizasyonunun kristal özelliklerini iyileştirmek hem de alaşım fazlarının oluşumu için koşullar sağlamak için; ve daha yüksek enerjili iyon bombardımanı, aynı zamanda belirli miktarda iyon implantasyonu ve iyon demeti karıştırma etkisi de üretir.
② İyon kaplama, daha yüksek basınç (1Pa veya üzeri) durumunda iyi bir baypas radyasyonu ürettiğinden, gaz molekülleri alt tabakaya doğru yolculuğunda bir dizi çarpışmayla karşılaşmadan önce iyonize buhar iyonları veya molekülleridir, böylece film parçacıkları alt tabakanın etrafına dağılabilir, böylece film tabakasının kapsamı iyileştirilebilir; ve iyonize film parçacıkları ayrıca negatif voltajlı alt tabakanın yüzeyindeki elektrik alanının etkisi altında biriktirilecektir. Buharlaştırma kaplama ile elde edilemeyen negatif voltajlı alt tabakanın yüzeyindeki herhangi bir pozisyon.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 12-Oca-2024