Vacuum ion coating (tinukoy bilang ion kalupkop) ay ang Estados Unidos sa 1963 Somdia kumpanya DM Mattox iminungkahi, ang 1970s ay ang mabilis na pag-unlad ng isang bagong teknolohiya sa ibabaw paggamot. Ito ay tumutukoy sa paggamit ng evaporation source o sputtering target sa isang vacuum atmosphere upang ang film material evaporation o sputtering, evaporation o sputtering out sa isang bahagi ng mga particle sa gas discharge space ay na-ionize sa mga metal ions.
Ang mga particle na ito ay idineposito sa substrate sa ilalim ng pagkilos ng electric field upang makabuo ng isang manipis na proseso ng pelikula.
Vacuum Ion kalupkop ng maraming mga uri, kadalasan ayon sa lamad materyal upang makabuo ng ion source ay nahahati sa dalawang uri: pagsingaw source uri Ion kalupkop at sputtering target uri Ion kalupkop. Ang dating ay sumingaw sa pamamagitan ng pag-init ng materyal ng pelikula upang makabuo ng mga singaw ng metal, upang ito ay bahagyang na-ionize sa mga singaw ng metal at mga neutral na atomo na may mataas na enerhiya sa espasyo ng plasma ng paglabas ng gas, sa pamamagitan ng papel na ginagampanan ng electric field upang maabot ang substrate upang makabuo ng mga manipis na pelikula; ang huli ay ang paggamit ng mga high-energy ions (eg, Ar +) sa ibabaw ng film material bombardment upang gawin ang sputtering out ng mga particle sa espasyo ng gas discharge na na-ionized sa mga ions o high-energy neutral atoms, upang maabot ang ibabaw ng substrate at makabuo ng pelikula.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: Mar-07-2024