Сарпӯши ионҳои вакуумӣ (бо ионҳои ион номида мешавад) дар Иёлоти Муттаҳида дар соли 1963 ширкати Somdia DM Mattox пешниҳод кард, солҳои 1970 рушди босуръати технологияи нави коркарди рӯизаминӣ буд. Он ба истифодаи манбаи бухоршавӣ ё ҳадафи пошидан дар атмосфераи вакуум дахл дорад, то бухоршавӣ ё пошидан, бухоршавӣ ё пошидани як қисми зарраҳо дар фазои разряди газ ба ионҳои металлӣ ионизатсия карда шавад.
Ин зарраҳо дар зери таъсири майдони электрикӣ барои тавлиди ҷараёни филми тунук ҷойгир карда мешаванд.
Пластикии ионҳои вакуумӣ аз навъҳои гуногун, одатан аз рӯи маводи мембрана барои истеҳсоли манбаи ион ба ду намуд тақсим мешавад: манбаи бухоршавӣ бо ионпӯшӣ ва пошидани ионҳои навъи ҳадаф. Собиқ тавассути гарм кардани маводи филм барои тавлиди бухори металлӣ бухор мешавад, ба тавре ки он қисман ба бухори металлӣ ва атомҳои нейтралии баланд-энергия дар фазои плазмаи разряди газ ionized мешавад, тавассути нақши майдони электрикӣ барои расидан ба субстрат барои тавлиди филмҳои тунук; охирин - истифодаи ионҳои энергияи баланд (масалан, Ar +) дар сатҳи бомбаборони маводи плёнка барои пошидани зарраҳо тавассути фазои разряди гази ионизатсияшуда ба ионҳо ё атомҳои нейтралии энергияи баланд, барои расидан ба сатҳи субстрат ва тавлиди филм.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: Мар-07-2024