Дар муқоиса бо қабати бухоршавӣ ва пошидани пошидан, муҳимтарин хусусияти ионпӯш кардани ионҳо дар он аст, ки ионҳои энергетикӣ ҳангоми таҳшиншавӣ субстрат ва қабати плёнкаро бомбаборон мекунанд. Бомбазании ионҳои заряднок як қатор эффектҳоро ба вуҷуд меорад, ки асосан ба таври зерин аст.
① Қувваи пайвасткунандаи мембрана / пойгоҳ (адгезия) қавӣ аст, қабати филм аз сабаби бомбаборони ионии субстрат, ки дар натиҷаи таъсири пошидан ба вуҷуд омадааст, афтодан осон нест, то субстрат тоза, фаъол ва гарм карда шавад, на танҳо адсорбсияи газро дар сатҳи субстрат ва қабати ифлосшуда, балки инчунин барои хориҷ кардани сатҳи оксид. Бомбгузории ионии гармидиҳӣ ва нуқсонҳо метавонад аз таъсири паҳншавии пурқуввати оксид ба вуҷуд ояд, ҳам барои беҳтар кардани хосиятҳои кристаллии ташкили қабати сатҳи оксид, балки инчунин шароит барои ташаккули фазаҳои хӯлаи; ва бомбаборони ионҳои энергияи баландтар, балки инчунин миқдори муайяни имплантатсияи ионҳо ва таъсири омехтаи чӯбҳои ионҳоро ба вуҷуд меорад.
② Сарпӯши ионӣ аз сабаби ба вуҷуд овардани радиатсияи хуби гузаранда дар ҳолати фишори баланд (зиёдатар ё ба 1Па) ионҳо ё молекулаҳои буғи ионизатсияшуда ҳангоми сафар ба субстрат пеш аз он ки молекулаҳои газ ба як қатор бархӯрдҳо дучор шаванд, аз ин рӯ зарраҳои плёнка метавонанд дар атрофи қабати қабати плёнка пароканда шаванд; ва зарраҳои плёнкаи иононидашуда низ дар зери таъсири майдони электрикӣ дар рӯи замин бо шиддати манфӣ ҷойгир карда мешаванд.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: январ-12-2024