① Технологияи ҷойгиркунии чӯби ионӣ бо пайвастшавии қавӣ байни филм ва субстрат тавсиф мешавад, қабати филм хеле қавӣ аст. Таҷрибаҳо нишон доданд, ки: бо ёрии шуои ионӣ таҳшиншавии часпак нисбат ба часпидани буғи гармӣ аз чанд маротиба то садҳо маротиба зиёд мешавад, сабаби он асосан бо бомбаборони ионҳо дар сатҳи эффекти тозакунӣ мебошад, то интерфейси заминаи мембрана сохтори градиентии интерфасиалӣ ё қабати гузариши гибридӣ, инчунин барои коҳиш додани фишори мембрана.
② Ҷойгиркунии чӯби ионӣ метавонад хосиятҳои механикии филмро беҳтар созад, мӯҳлати хасташавиро дароз кунад, ки барои тайёр кардани оксидҳо, карбидҳо, BN кубӣ, TiB: ва рӯйпӯшҳои ба алмос монанд хеле мувофиқ аст. Масалан, дар 1Crl8Ni9Ti пӯлоди гармӣ тобовар оид ба истифодаи технологияи таҳшинсозии ионҳо барои парвариши 200nm SiN, филми борик, на танҳо метавонад пайдоиши тарқишҳои хастагӣ дар рӯи маводро боздорад, балки инчунин метавонад суръати паҳншавии тарқишҳои хастаро ба таври назаррас коҳиш диҳад, барои дароз кардани ҳаёти он нақши хуб дорад.
③ Ҷойгиркунии чӯби ион метавонад табиати фишори филмро тағир диҳад ва сохтори кристаллии онро тағир диҳад. Масалан, тайёр кардани филми Cr бо 11,5кеВ Xe + ё Ar + бомбаборони сатҳи субстрат, муайян кард, ки танзими ҳарорати субстрат, энергияи ионҳои бомбаборон, таносуби ион ва атом ва дигар параметрҳо, метавонад стрессро аз кашиш то фишори фишурда кунад, сохтори кристаллии филм низ тағирот ба вуҷуд меорад. Дар доираи таносуби муайяни ионҳо ба атомҳо, таҳшиншавии чӯби ионҳо нисбат ба қабати мембрана, ки дар натиҷаи таҳшиншавии буғи гармӣ ҷойгир шудааст, самти беҳтари интихобӣ дорад.
④ Ҷойгиркунии чӯби ионӣ метавонад муқовимат ба зангзанӣ ва муқовимати оксидшавии мембранаро афзоиш диҳад. Азбаски таҳшиншавии қабати мембрана бо ёрии нури ион зич аст, сохтори интерфейси пойгоҳи мембрана беҳтар мешавад ё ташаккули ҳолати аморфӣ дар натиҷаи аз байн рафтани сарҳади донаҳо байни зарраҳо ба амал меояд, ки ба баланд шудани муқовимати зангзанӣ ва муқовимати оксидшавии мавод мусоидат мекунад.
Муқовимат ба зангзании маводро такмил диҳед ва ба таъсири оксидкунандаи ҳарорати баланд муқовимат кунед.
(5) Ҷойгиркунии чӯби ионӣ метавонад хосиятҳои электромагнитии филмро тағир диҳад ва иҷрои филмҳои тунуки оптикиро беҳтар кунад. (6) Ҷойгиркунии ион бо ёрии ион имкон медиҳад, ки қабатҳои гуногуни тунук дар ҳарорати паст афзоиш ёбад ва аз таъсири манфии мавод ё қисмҳои дақиқе, ки дар натиҷаи коркард дар ҳарорати баланд ба вуҷуд меоянд, пешгирӣ мекунад, зеро параметрҳои марбут ба таҳшини атомӣ ва имплантатсияи ионҳо метавонанд дақиқ ва мустақилона танзим карда шаванд ва рӯйпӯшҳои чанд микрометр бо таркиби пайваста дар бомбаборони доимӣ ба вуҷуд оварда шаванд.
Вақти фиристодан: Мар-07-2024