బాష్పీభవన ప్లేటింగ్ మరియు స్పట్టరింగ్ ప్లేటింగ్తో పోలిస్తే, అయాన్ ప్లేటింగ్ యొక్క అతి ముఖ్యమైన లక్షణం ఏమిటంటే, నిక్షేపణ జరిగేటప్పుడు శక్తివంతమైన అయాన్లు ఉపరితలం మరియు ఫిల్మ్ పొరను బాంబు దాడి చేస్తాయి. చార్జ్డ్ అయాన్ల బాంబు దాడి ప్రధానంగా ఈ క్రింది విధంగా వరుస ప్రభావాలను ఉత్పత్తి చేస్తుంది.
① మెంబ్రేన్ / బేస్ బాండింగ్ ఫోర్స్ (అథెషన్) బలంగా ఉంది, స్పట్టరింగ్ ఎఫెక్ట్ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన సబ్స్ట్రేట్ యొక్క అయాన్ బాంబర్డ్మెంట్ కారణంగా ఫిల్మ్ లేయర్ సులభంగా పడిపోదు, తద్వారా సబ్స్ట్రేట్ శుభ్రం చేయబడుతుంది, యాక్టివేట్ చేయబడుతుంది మరియు వేడి చేయబడుతుంది, సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై వాయువు యొక్క శోషణను మరియు కలుషితమైన పొరను తొలగించడానికి మాత్రమే కాకుండా, సబ్స్ట్రేట్ ఆక్సైడ్ల ఉపరితలాన్ని కూడా తొలగించడానికి కూడా. తాపన మరియు లోపాల యొక్క అయాన్ బాంబర్డ్మెంట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క మెరుగైన వ్యాప్తి ప్రభావం వల్ల సంభవించవచ్చు, రెండూ సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితల పొర సంస్థ యొక్క స్ఫటికాకార లక్షణాలను మెరుగుపరచడానికి, కానీ మిశ్రమం దశల ఏర్పాటుకు పరిస్థితులను కూడా అందిస్తుంది; మరియు అధిక శక్తి అయాన్ బాంబర్డ్మెంట్, కానీ కొంత మొత్తంలో అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు అయాన్ బీమ్ మిక్సింగ్ ప్రభావాన్ని కూడా ఉత్పత్తి చేస్తుంది.
② అధిక పీడనం (1Pa కంటే ఎక్కువ లేదా సమానం) ఉన్న సందర్భంలో మంచి బైపాసింగ్ రేడియేషన్ను ఉత్పత్తి చేయడం వల్ల అయాన్ పూత అయనీకరణం చెందిన ఆవిరి అయాన్లు లేదా అణువులు ఉపరితలం వైపు ప్రయాణించేటప్పుడు గ్యాస్ అణువులు అనేక ఘర్షణలను ఎదుర్కొనే ముందు ఉంటాయి, కాబట్టి ఫిల్మ్ కణాలను ఉపరితలం చుట్టూ చెల్లాచెదురుగా ఉంచవచ్చు, తద్వారా ఫిల్మ్ పొర యొక్క కవరేజ్ మెరుగుపడుతుంది; మరియు అయనీకరణం చెందిన ఫిల్మ్ కణాలు కూడా విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క చర్య కింద ప్రతికూల వోల్టేజ్ ఉన్న ఉపరితలం యొక్క ఉపరితలంపై జమ చేయబడతాయి. ప్రతికూల వోల్టేజ్ ఉన్న ఉపరితలం యొక్క ఉపరితలంపై ఏదైనా స్థానం, దీనిని బాష్పీభవన లేపనం ద్వారా సాధించలేము.
–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ సమయం: జనవరి-12-2024