అయాన్ బీమ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ

① అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ ఫిల్మ్ మరియు సబ్‌స్ట్రేట్ మధ్య బలమైన సంశ్లేషణ ద్వారా వర్గీకరించబడుతుంది, ఫిల్మ్ పొర చాలా బలంగా ఉంటుంది. ప్రయోగాలు ఇలా చూపించాయి: అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ సంశ్లేషణ నిక్షేపణ ఉష్ణ ఆవిరి నిక్షేపణ యొక్క సంశ్లేషణ కంటే అనేక రెట్లు వందల రెట్లు పెరిగింది, దీనికి కారణం ప్రధానంగా శుభ్రపరిచే ప్రభావం యొక్క ఉపరితలంపై అయాన్ బాంబు దాడి కారణంగా ఉంది, తద్వారా పొర బేస్ ఇంటర్‌ఫేస్ ప్రవణత ఇంటర్‌ఫేషియల్ స్ట్రక్చర్ లేదా హైబ్రిడ్ ట్రాన్సిషన్ లేయర్‌ను ఏర్పరుస్తుంది, అలాగే పొర యొక్క ఒత్తిడిని తగ్గించడానికి.

② అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ యొక్క యాంత్రిక లక్షణాలను మెరుగుపరుస్తుంది, అలసట జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది, ఆక్సైడ్లు, కార్బైడ్‌లు, క్యూబిక్ BN, TiB: మరియు డైమండ్ లాంటి పూతల తయారీకి చాలా అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, 1Crl8Ni9Ti వేడి-నిరోధక ఉక్కులో 200nm SiN ను పెంచడానికి అయాన్ బీమ్-అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించడం, సన్నని ఫిల్మ్, పదార్థం యొక్క ఉపరితలంపై అలసట పగుళ్లు ఏర్పడకుండా నిరోధించడమే కాకుండా, అలసట పగుళ్ల వ్యాప్తి రేటును గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది, దాని జీవితాన్ని పొడిగించడానికి మంచి పాత్ర ఉంది.

③ అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ యొక్క ఒత్తిడి స్వభావాన్ని మార్చగలదు మరియు దాని స్ఫటికాకార నిర్మాణం మారుతుంది. ఉదాహరణకు, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉపరితలం యొక్క 11.5keV Xe + లేదా Ar + బాంబర్డ్‌మెంట్‌తో Cr ఫిల్మ్ తయారీ, సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత, బాంబర్డ్‌మెంట్ అయాన్ శక్తి, అయాన్ మరియు అణువు రాక నిష్పత్తి మరియు ఇతర పారామితుల సర్దుబాటు, తన్యత నుండి సంపీడన ఒత్తిడికి ఒత్తిడిని కలిగిస్తుందని కనుగొన్నారు, ఫిల్మ్ యొక్క క్రిస్టల్ నిర్మాణం కూడా మార్పులను ఉత్పత్తి చేస్తుంది. అయాన్‌లకు అణువులకు ఒక నిర్దిష్ట నిష్పత్తిలో, అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఉష్ణ ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా జమ చేయబడిన పొర పొర కంటే మెరుగైన ఎంపిక ధోరణిని కలిగి ఉంటుంది.

④ అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ పొర యొక్క తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను పెంచుతుంది. పొర పొర యొక్క అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణ దట్టంగా ఉన్నందున, పొర బేస్ ఇంటర్‌ఫేస్ నిర్మాణం మెరుగుపడుతుంది లేదా కణాల మధ్య గ్రెయిన్ సరిహద్దు అదృశ్యం కావడం వల్ల నిరాకార స్థితి ఏర్పడుతుంది, ఇది పదార్థం యొక్క తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను పెంచడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.

పదార్థం యొక్క తుప్పు నిరోధకతను పెంచండి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత యొక్క ఆక్సీకరణ ప్రభావాన్ని నిరోధించండి.

(5) అయాన్ బీమ్ అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ ఫిల్మ్ యొక్క విద్యుదయస్కాంత లక్షణాలను మార్చగలదు మరియు ఆప్టికల్ థిన్ ఫిల్మ్‌ల పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది. (6) అయాన్-అసిస్టెడ్ డిపాజిషన్ తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద వివిధ సన్నని ఫిల్మ్‌ల పెరుగుదలను అనుమతిస్తుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద చికిత్స వల్ల కలిగే పదార్థాలు లేదా ఖచ్చితత్వ భాగాలపై ప్రతికూల ప్రభావాలను నివారిస్తుంది, ఎందుకంటే అణు నిక్షేపణ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్‌కు సంబంధించిన పారామితులను ఖచ్చితంగా మరియు స్వతంత్రంగా సర్దుబాటు చేయవచ్చు మరియు స్థిరమైన కూర్పుతో కొన్ని మైక్రోమీటర్ల పూతలను తక్కువ బాంబు దాడి శక్తి వద్ద నిరంతరం ఉత్పత్తి చేయవచ్చు.