வெற்றிட அயனி பூச்சு (அயன் முலாம் என குறிப்பிடப்படுகிறது) 1963 ஆம் ஆண்டு சோம்டியா நிறுவனமான டிஎம் மேட்டாக்ஸ் முன்மொழிந்தது, 1970 களில் ஒரு புதிய மேற்பரப்பு சிகிச்சை தொழில்நுட்பத்தின் விரைவான வளர்ச்சியாக இருந்து வருகிறது. இது ஒரு வெற்றிட வளிமண்டலத்தில் ஆவியாதல் மூலத்தைப் பயன்படுத்துவதைக் குறிக்கிறது, இதனால் படப் பொருள் ஆவியாதல் அல்லது தெளித்தல், வாயு வெளியேற்ற இடத்தில் உள்ள துகள்களின் ஒரு பகுதியிலிருந்து ஆவியாதல் அல்லது தெளித்தல் ஆகியவை உலோக அயனிகளாக அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன.
இந்த துகள்கள் ஒரு மெல்லிய படல செயல்முறையை உருவாக்க மின்சார புலத்தின் செயல்பாட்டின் கீழ் அடி மூலக்கூறில் படிகின்றன.
பல வகையான வெற்றிட அயனி முலாம், பொதுவாக அயனி மூலத்தை உருவாக்க சவ்வுப் பொருளின் படி இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படும்: ஆவியாதல் மூல வகை அயன் முலாம் மற்றும் தெளித்தல் இலக்கு வகை அயன் முலாம். முந்தையது உலோக நீராவிகளை உருவாக்க படலப் பொருளை சூடாக்குவதன் மூலம் ஆவியாக்கப்படுகிறது, இதனால் அது வாயு வெளியேற்ற பிளாஸ்மாவின் இடத்தில் உலோக நீராவிகளாகவும் உயர் ஆற்றல் நடுநிலை அணுக்களாகவும் பகுதியளவு அயனியாக்கம் செய்யப்படுகிறது, மெல்லிய படலங்களை உருவாக்க அடி மூலக்கூறை அடைய மின்சார புலத்தின் பங்கு மூலம்; பிந்தையது படலப் பொருளின் மேற்பரப்பில் உயர் ஆற்றல் அயனிகளை (எ.கா., Ar +) பயன்படுத்தி வாயு வெளியேற்றத்தின் இடைவெளி வழியாக துகள்களை அயனிகளாகவோ அல்லது உயர் ஆற்றல் நடுநிலை அணுக்களாகவோ அயனியாக்கம் செய்து, அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை அடைந்து படலத்தை உருவாக்குகிறது.
–இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
இடுகை நேரம்: மார்ச்-07-2024