அயன் கற்றை படிவு தொழில்நுட்பம்

① அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு தொழில்நுட்பம் படலத்திற்கும் அடி மூலக்கூறுக்கும் இடையிலான வலுவான ஒட்டுதலால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது, படல அடுக்கு மிகவும் வலுவானது. சோதனைகள் காட்டுகின்றன: வெப்ப நீராவி படிவின் ஒட்டுதலை விட அயன் கற்றை உதவியுடன் ஒட்டுதல் படிவு பல மடங்கு முதல் நூற்றுக்கணக்கான மடங்கு வரை அதிகரித்துள்ளது, காரணம் முக்கியமாக சுத்தம் செய்யும் விளைவின் மேற்பரப்பில் அயனி குண்டுவீச்சு காரணமாகும், இதனால் சவ்வு அடிப்படை இடைமுகம் சாய்வு இடைமுக அமைப்பு அல்லது கலப்பின மாற்ற அடுக்கை உருவாக்குகிறது, அத்துடன் சவ்வின் அழுத்தத்தைக் குறைக்கிறது.

② அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் படத்தின் இயந்திர பண்புகளை மேம்படுத்தலாம், சோர்வு ஆயுளை நீட்டிக்கலாம், ஆக்சைடுகள், கார்பைடுகள், கனசதுர BN, TiB: மற்றும் வைரம் போன்ற பூச்சுகளை தயாரிப்பதற்கு மிகவும் பொருத்தமானது. எடுத்துக்காட்டாக, 1Crl8Ni9Ti வெப்ப-எதிர்ப்பு எஃகு அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி 200nm SiN ஐ வளர்க்கிறது, மெல்லிய படலம், பொருளின் மேற்பரப்பில் சோர்வு விரிசல்கள் தோன்றுவதைத் தடுப்பது மட்டுமல்லாமல், சோர்வு விரிசல் பரவல் விகிதத்தையும் கணிசமாகக் குறைக்கும், அதன் ஆயுளை நீட்டிக்க ஒரு நல்ல பங்கைக் கொண்டுள்ளது.

③ அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் படலத்தின் அழுத்த தன்மையை மாற்றும் மற்றும் அதன் படிக அமைப்பு மாறுகிறது. எடுத்துக்காட்டாக, அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் 11.5keV Xe + அல்லது Ar + தாக்குதலுடன் Cr படலத்தைத் தயாரிப்பது, அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை, தாக்குதலுக்கான அயனி ஆற்றல், அயனி மற்றும் அணு வருகை விகிதம் மற்றும் பிற அளவுருக்களின் சரிசெய்தல், இழுவிசை அழுத்தத்திலிருந்து அமுக்க அழுத்தத்திற்கு அழுத்தத்தை உருவாக்க முடியும் என்பதைக் கண்டறிந்தது, படலத்தின் படிக அமைப்பும் மாற்றங்களை உருவாக்கும். அணுக்களுக்கு அயனிகளின் ஒரு குறிப்பிட்ட விகிதத்தின் கீழ், வெப்ப நீராவி படிவால் படிவு செய்யப்பட்ட சவ்வு அடுக்கை விட அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு சிறந்த தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட நோக்குநிலையைக் கொண்டுள்ளது.

④ அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் சவ்வின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை மேம்படுத்தலாம். சவ்வு அடுக்கின் அயன் கற்றை உதவியுடன் படிவு அடர்த்தியாக இருப்பதால், சவ்வு அடிப்படை இடைமுக அமைப்பு மேம்பாடு அல்லது துகள்களுக்கு இடையே உள்ள தானிய எல்லை மறைந்து போவதால் ஏற்படும் உருவமற்ற நிலை உருவாக்கம், இது பொருளின் அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பை மேம்படுத்துவதற்கு உகந்ததாகும்.

பொருளின் அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்தி, அதிக வெப்பநிலையின் ஆக்ஸிஜனேற்ற விளைவை எதிர்க்கவும்.

(5) அயன் கற்றை உதவியுடன் படிதல் படலத்தின் மின்காந்த பண்புகளை மாற்றும் மற்றும் ஒளியியல் மெல்லிய படலங்களின் செயல்திறனை மேம்படுத்தும். (6) அயன் உதவியுடன் படிதல் குறைந்த வெப்பநிலையில் பல்வேறு மெல்லிய படலங்களின் வளர்ச்சியை அனுமதிக்கிறது மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் சிகிச்சையால் ஏற்படும் பொருட்கள் அல்லது துல்லியமான பாகங்களில் ஏற்படும் பாதகமான விளைவுகளைத் தவிர்க்கிறது, ஏனெனில் அணு படிவு மற்றும் அயனி பொருத்துதல் தொடர்பான அளவுருக்களை துல்லியமாகவும் சுயாதீனமாகவும் சரிசெய்ய முடியும், மேலும் நிலையான கலவையுடன் கூடிய சில மைக்ரோமீட்டர்களின் பூச்சுகளை குறைந்த குண்டுவீச்சு ஆற்றல்களில் தொடர்ந்து உருவாக்க முடியும்.