① Ion boriti kusaidiwa utuaji teknolojia ni sifa ya kujitoa nguvu kati ya filamu na substrate, safu ya filamu ni nguvu sana. Majaribio yameonyesha kuwa: ion boriti kusaidiwa utuaji wa kujitoa kuliko kujitoa ya utuaji wa mvuke mafuta kuongezeka mara kadhaa hadi mamia ya nyakati, sababu ni hasa kutokana na ion bombardment juu ya uso wa athari ya kusafisha, ili utando msingi interface kuunda gradient interfacial muundo, au safu ya mpito mseto, pamoja na kupunguza mkazo wa utando.
② Ion boriti kusaidiwa utuaji inaweza kuboresha mali mitambo ya filamu, kupanua maisha ya uchovu, kufaa sana kwa ajili ya maandalizi ya oksidi, carbides, za ujazo BN, TiB: na mipako almasi-kama. Kwa mfano, katika 1Crl8Ni9Ti joto-sugu chuma juu ya matumizi ya ion boriti-kusaidiwa utuaji teknolojia kukua 200nm SiN, filamu nyembamba, si tu inaweza kuzuia kuibuka kwa nyufa uchovu juu ya uso wa nyenzo, lakini pia inaweza kwa kiasi kikubwa kupunguza ufa uchovu kiwango cha utbredningen, kupanua maisha yake ina jukumu nzuri.
③ Uwekaji unaosaidiwa wa boriti ya Ion unaweza kubadilisha asili ya mkazo wa filamu na mabadiliko ya muundo wake wa fuwele. Kwa mfano, maandalizi ya filamu Cr na 11.5keV Xe + au Ar + bombardment ya uso substrate, iligundua kuwa marekebisho ya joto substrate, bombardment ion nishati, ion na atomi kuwasili uwiano na vigezo vingine, inaweza kufanya dhiki kutoka tensile kwa dhiki compressive, muundo wa kioo wa filamu pia kuzalisha mabadiliko. Chini ya uwiano fulani wa ioni na atomi, boriti inayosaidiwa ya ioni ina mwelekeo bora wa kuchagua kuliko safu ya utando iliyowekwa na uwekaji wa mvuke wa joto.
④ Ion boriti kusaidiwa utuaji inaweza kuongeza upinzani kutu na upinzani oxidation ya utando. Kwa vile boriti ya ioni inayosaidiwa na utuaji wa safu ya utando ni mnene, uboreshaji wa muundo wa kiolesura cha msingi wa utando au uundaji wa hali ya amofasi inayosababishwa na kutoweka kwa mpaka wa nafaka kati ya chembe, ambayo ni rahisi kwa uimarishaji wa upinzani wa kutu na upinzani wa oxidation wa nyenzo.
Kuimarisha upinzani wa kutu wa nyenzo na kupinga athari ya oxidizing ya joto la juu.
(5) Utuaji unaosaidiwa na boriti ya Ion unaweza kubadilisha sifa za sumakuumeme za filamu na kuboresha utendakazi wa filamu nyembamba za macho. (6) Uwekaji unaosaidiwa na Ioni huruhusu ukuaji wa filamu mbalimbali nyembamba kwa viwango vya chini vya joto na huepuka athari mbaya kwa nyenzo au sehemu za usahihi ambazo zingesababishwa na matibabu kwa joto la juu, kwa kuwa vigezo vinavyohusiana na uwekaji wa atomiki na uwekaji wa ayoni vinaweza kurekebishwa kwa usahihi na kwa kujitegemea, na mipako ya mikromita chache yenye utungaji thabiti kwa kasi ya chini ya bomba inaweza kuzalishwa kwa mfululizo.
Muda wa posta: Mar-07-2024