Jämfört med förångningsplätering och sputterplätering är den viktigaste egenskapen hos jonplätering att de energiska jonerna bombarderar substratet och filmskiktet medan avsättningen sker. Bombardemanget av laddade joner producerar en rad effekter, huvudsakligen enligt följande.
① Membran/bas-bindningskraften (vidhäftningen) är stark, vilket gör att filmskiktet inte lätt faller av på grund av jonbombardemang som genereras av sputtereffekten mot substratet, vilket rengör, aktiverar och uppvärmer substratet. Detta avlägsnar inte bara adsorptionen av gaser på substratytan och det förorenade skiktet, utan avlägsnar även oxider från substratytan. Uppvärmning och defekter från jonbombardemang kan orsakas av substratets förbättrade diffusionseffekt, vilket både förbättrar substratets kristallina egenskaper och skapar förutsättningar för bildandet av legeringsfaser. Dessutom producerar jonbombardemang med högre energi en viss mängd jonimplantation och jonstråleblandningseffekt.
② Jonbeläggning producerar bra förbikopplingsstrålning vid högre tryck (större än eller lika med 1 Pa). Joniserade ångjoner eller molekyler stöter på flera kollisioner på vägen till substratet innan gasmolekylerna stöter på dem, så att filmpartiklarna kan spridas runt substratet, vilket förbättrar filmskiktets täckning. De joniserade filmpartiklarna avsätts också under inverkan av det elektriska fältet på substratytan med negativ spänning. Vilken position som helst på substratytan med negativ spänning kan uppnås genom förångningsplätering.
–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publiceringstid: 12 januari 2024