У поређењу са испаравањем и распршивањем, најважнија карактеристика јонског наношења је да енергетски јони бомбардују подлогу и слој филма док се одвија таложење. Бомбардовање наелектрисаним јонима производи низ ефеката, углавном следећих.
① Сила везивања (адхезије) мембране/базе је јака, слој филма се не скида лако због јонског бомбардовања подлоге изазваног ефектом распршивања, тако да се подлога чисти, активира и загрева, не само да би се уклонила адсорпција гаса на површини подлоге и контаминираног слоја, већ и да би се уклонили површински оксиди подлоге. Јонско бомбардовање и дефекти услед загревања могу бити узроковани појачаним ефектом дифузије подлоге, како за побољшање кристалних својстава организације површинског слоја подлоге, тако и за обезбеђивање услова за формирање легираних фаза; и јонско бомбардовање веће енергије, али такође производи одређену количину јонске имплантације и ефекта мешања јонског снопа.
② Јонски премаз ствара добро заобилазно зрачење у случају вишег притиска (већег или једнаког 1 Па), јони или молекули паре се јонизују на свом путу до подлоге пре него што молекули гаса наиђу на бројне судара, тако да се честице филма могу расути по подлози, чиме се побољшава покривеност слоја филма; а јонизоване честице филма ће се такође таложити под дејством електричног поља на површини подлоге са негативним напоном у било ком положају на површини подлоге са негативним напоном, што се не може постићи испаравањем.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 12. јануар 2024.