① Технологија таложења уз помоћ јонског снопа карактерише се јаком адхезијом између филма и подлоге, слој филма је веома јак. Експерименти су показали да: таложење уз помоћ јонског снопа има повећану адхезију од неколико пута, па чак и стотина пута, у поређењу са термичким таложењем паром. Разлог је углавном због ефекта чишћења површине јонским бомбардовањем, тако да се на површини мембране формира градијентна међуповршинска структура или хибридни прелазни слој, што смањује напрезање мембране.
② Наношење уз помоћ јонског снопа може побољшати механичка својства филма, продужити век трајања отпорности на замор, веома је погодно за припрему оксида, карбида, кубног BN, TiB: и дијамантских премаза. На пример, код термоотпорног челика 1Crl8Ni9Ti, коришћење технологије наношења уз помоћ јонског снопа за раст танког филма SiN дебљине 200 nm не само да може спречити појаву заморних пукотина на површини материјала, већ може значајно смањити брзину ширења заморних пукотина, што има добру улогу у продужењу века трајања.
③ Депозиција уз помоћ јонског снопа може променити природу напрезања филма и променити његову кристалну структуру. На пример, припрема Cr филма бомбардовањем површине подлоге Xe+ или Ar+ електрана од 11,5 keV, показала је да подешавање температуре подлоге, енергије бомбардовања јона, односа доласка јона и атома и других параметара може променити напон од затезног до компресивног напона, што ће такође изазвати промене у кристалној структури филма. Под одређеним односом јона и атома, депозиција уз помоћ јонског снопа има бољу селективну оријентацију него мембрански слој депонован термичким таложењем из паре.
④ Наношење уз помоћ јонског снопа може побољшати отпорност мембране на корозију и оксидацију. Пошто је слој мембране наношењем уз помоћ јонског снопа густ, структура базне површине мембране или формирање аморфног стања узроковано нестанком границе зрна између честица се побољшава, што доприноси побољшању отпорности материјала на корозију и оксидацију.
Повећајте отпорност материјала на корозију и отпорност на оксидативни ефекат високе температуре.
(5) Наношење уз помоћ јонског снопа може променити електромагнетна својства филма и побољшати перформансе оптичких танких филмова. (6) Наношење уз помоћ јона омогућава раст различитих танких филмова на ниским температурама и избегава негативне ефекте на материјале или прецизне делове који би били узроковани обрадом на високим температурама, пошто се параметри везани за атомско наношење и јонску имплантацију могу прецизно и независно подесити, а премази од неколико микрометара са конзистентним саставом могу се континуирано генерисати при ниским енергијама бомбардовања.
Време објаве: 07.03.2024.