① Ion beam tiknoolijiyada kaydinta ee la caawiyay waxaa lagu gartaa adhesion xooggan oo u dhexeeya filimka iyo substrate-ka, lakabka filimku waa mid aad u xoogan. Tijaabooyinku waxay muujiyeen in: ion beam-ka caawiya dhejinta xabagta marka loo eego dhejinta kaydinta uumiga kulaylka ayaa kordhay dhowr jeer ilaa boqolaal jeer, sababta ayaa inta badan sabab u ah bamka ion ee dusha sare ee saameynta nadiifinta, si xuubka saldhigga xuubka si uu u sameeyo qaab dhismeedka isdhexgalka ee gradient, ama lakabka wareejinta isku-dhafka ah, iyo sidoo kale in la yareeyo walbahaarka xuubka.
② Ion beam la kaalmeeyay dhigaalka waxay hagaajin kartaa sifooyinka farsamada ee filimka, waxay kordhisaa nolosha daalka, oo aad ugu habboon diyaarinta oxides, carbides, cubic BN, TiB: iyo dheeman u eg. Tusaale ahaan, in 1Crl8Ni9Ti birta kulaylka u adkaysta on isticmaalka tignoolajiyada dhigista alwaax-caawiyey in ay koraan 200nm SiN, film khafiif ah, ma aha oo kaliya in la xakameeyo karaa soo bixitaanka dildilaaca daal dusha alaabta, laakiin sidoo kale si weyn u dhimi kartaa heerka faafinta dildilaaca daal, si loo kordhiyo nolosheeda door wanaagsan.
③ Dhigista ion beam-ka ee la caawiyay waxay bedeli kartaa dabeecadda walaaca ee filimka iyo qaab dhismeedka crystalline isbedela. Tusaale ahaan, diyaarinta filimka Cr oo leh 11.5keV Xe + ama Ar + duqaynta dusha sare ee substrate, waxay ogaatay in hagaajinta heerkulka substrate, tamarta ion bamka, ion iyo saamiga imaatinka atomka iyo xuduudaha kale, waxay ka dhigi kartaa diiqada ka soo jiidashada cadaadiska cadaadiska, qaabka crystal ee filimka ayaa sidoo kale soo saari doona isbeddello. Marka loo eego saami gaar ah oo ah ion iyo atamka, meel dhigista ion beam-ka ee la caawiyay ayaa leh jihayn doorasho oo ka wanaagsan lakabka xuubka ee kaydiya kaydinta uumiga kulaylka.
④ Ion beam-ka-dhigista ayaa kor u qaadi karta iska caabbinta daxalka iyo caabbinta oksaydhka ee xuubka. Sida ion alwaax ka caawiyay dhigista lakabka xuubka waa cufan, hagaajinta qaab dhismeedka interface saldhigga xuubka ama samaynta gobolka amorphous ay sababtay luminta xadka hadhuudhka u dhexeeya qaybaha, kaas oo ku habboon kor u qaadista caabbinta daxalka iyo iska caabinta oksaydhka ee walxaha.
Kordhi iska caabbinta daxalka ee maaddada oo iska caabi saamaynta oksaydhka ee heerkulka sare.
(5) Dhigista Ion beam-ka caawisay waxay bedeli kartaa sifooyinka korantada ee filimka waxayna wanaajin kartaa waxqabadka filimada khafiifka ah. (6) Dhigista Ion-caawiyay waxay u ogolaataa koritaanka filimyo khafiif ah oo kala duwan heerkul hooseeya waxayna ka fogaataa saameynta xun ee alaabta ama qaybaha saxda ah ee ay keeni doonto daaweynta heerkulka sare, tan iyo xuduudaha la xidhiidha dhigaalka atomiga iyo ion implantation si sax ah oo madax-bannaan, iyo daahan ee dhowr micrometers leh halabuurka joogtada ah ayaa si joogto ah loo dhalin karaa qarxinta hoose ene .
Waqtiga boostada: Mar-07-2024