Uiga Fa'apipi'i Ion ma Fa'aoga-Mataupu 1

Pe a faatusatusa i le evaporation plateing ma sputtering plateing, o le vaega pito sili ona taua o le ion plating o le malosi o ion e pomuina le substrate ma le ata tifaga a'o faia le deposition. O le osofa'ia o ion ua molia e maua mai ai se faasologa o aafiaga, aemaise lava e pei ona taua i lalo.

① Membrane / malosi faʻapipiʻi (adhesion) malosi, e le faigofie ona paʻu ese le ata tifaga ona o le osofaʻi o le meaʻai e mafua mai i le aʻafiaga o le sputtering, ina ia faʻamamaina le meaʻai, faʻagaoioia ma vevela, e le gata e aveese ai le adsorption o le kesi i luga o le meaʻai ma le mea leaga o le meaʻai, ae faʻapea foi ona aveese le oxide. Ion bombardment o le vevela ma faaletonu e mafai ona mafua mai i le faateleina o aafiaga faasalalauina o le substrate, e le gata e faaleleia ai le tulaga tioata o le substrate faʻapipiʻi faʻalapotopotoga faʻapipiʻi, ae o loʻo tuʻuina atu ai foʻi tulaga mo le faʻavaeina o vaega uʻamea; ma le maualuga o le malosi o le pomu ion, ae e maua ai foi se aofaiga o le ion implantation ma le ion beam mixing effect.

② Ion coating ona o le maua mai o le faʻavevela lelei i le tulaga o le maualuga o le mamafa (sili atu pe tutusa ma le 1Pa) o ionized vapor ions poʻo molelaʻau i lana malaga i le substrate aʻo leʻi feagai mole kesi ma le tele o feteʻenaʻiga, o lea e mafai ai ona faʻataʻapeʻapeina vaega o ata i luga o le substrate, ma faʻaleleia atili ai le ufiufi o le ata tifaga; ma o le a teuina foi vaega o ata tifaga ionized i lalo o le gaioiga a le eletise eletise i luga o le pito i luga o le substrate ma le voltage leaga Soʻo se tulaga i luga o le pito i luga o le substrate ma voltage leaga, lea e le mafai ona ausia e ala i le faʻafefeteina.

–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua