Vakuumsko ionsko prevleko (imenovano ionsko platiranje) je leta 1963 predlagalo ameriško podjetje DM Mattox iz Somdia. V sedemdesetih letih prejšnjega stoletja se je hitro razvila nova tehnologija površinske obdelave. Nanaša se na uporabo vira izhlapevanja ali tarče za razprševanje v vakuumski atmosferi, tako da se filmski material izhlapi ali razprši, del delcev izhlapevanja ali razprševanja v prostoru za plinski izpust ionizira v kovinske ione.
Ti delci se pod vplivom električnega polja nanesejo na podlago in tvorijo tanko plast.
Vakuumsko ionsko nanašanje je različnih vrst, ki se običajno glede na material membrane, iz katerega se ustvari ionski vir, delimo na dve vrsti: ionsko nanašanje z izhlapevanjem vira in ionsko nanašanje z razprševanjem tarče. Pri prvem se filmski material segreje z uparjanjem, da se ustvarijo kovinske pare, ki se delno ionizirajo v kovinske pare in visokoenergijske nevtralne atome v prostoru plazme plinskega praznjenja, ki s pomočjo električnega polja dosežejo substrat in ustvarijo tanke plasti; pri drugem se na površino filmskega materiala z uporabo visokoenergijskih ionov (npr. Ar+) bombardirajo delci, ki se razpršijo in ionizirajo skozi prostor plinskega praznjenja v ione ali visokoenergijske nevtralne atome, ki dosežejo površino substrata in ustvarijo film.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 7. marec 2024