① Za tehnologijo nanašanja z ionskim žarkom je značilna močna adhezija med filmom in podlago, zaradi česar je filmska plast zelo močna. Poskusi so pokazali, da se adhezija pri nanašanju z ionskim žarkom večkrat do več stokrat poveča v primerjavi s termičnim nanašanjem s paro, predvsem zaradi čistilnega učinka ionskega bombardiranja na površini, tako da se na stičišču membrane tvori gradientna medfazna struktura ali hibridna prehodna plast, kar zmanjša napetost membrane.
② Nanašanje z ionskim žarkom lahko izboljša mehanske lastnosti filma in podaljša življenjsko dobo utrujenosti, kar je zelo primerno za pripravo oksidnih, karbidnih, kubičnih BN, TiB: in diamantnih prevlek. Na primer, pri toplotno odpornem jeklu 1Crl8Ni9Ti, ki se z ionskim žarkom uporablja tehnologija nanašanja za rast 200 nm tankega filma SiN, ne le zavira nastanek utrujenostnih razpok na površini materiala, temveč tudi znatno zmanjša hitrost difuzije utrujenostnih razpok in s tem podaljša njegovo življenjsko dobo.
③ Nanašanje z ionskim žarkom lahko spremeni naravo napetosti filma in spremeni njegovo kristalno strukturo. Na primer, pri pripravi Cr filma z bombardiranjem površine substrata z Xe+ ali Ar+ pri 11,5 keV je bilo ugotovljeno, da lahko prilagoditev temperature substrata, energije bombardiranja z ioni, razmerja prihoda ionov in atomov ter drugih parametrov spremeni napetost iz natezne v tlačno napetost, kar povzroči tudi spremembe v kristalni strukturi filma. Pri določenem razmerju ionov in atomov ima nanašanje z ionskim žarkom boljšo selektivno orientacijo kot membranska plast, nanešena s termičnim nanašanjem pare.
④ Nanašanje z ionskim žarkom lahko izboljša odpornost membrane proti koroziji in oksidaciji. Ker je membranska plast, nanešena z ionskim žarkom, gosta, se zaradi izginotja meje zrn med delci izboljša struktura membranskega vmesnika ali nastane amorfno stanje, kar prispeva k izboljšanju odpornosti materiala proti koroziji in oksidaciji.
Povečajte korozijsko odpornost materiala in se uprite oksidativnemu učinku visoke temperature.
(5) Nanašanje z ionskim snopom lahko spremeni elektromagnetne lastnosti filma in izboljša delovanje optičnih tankih filmov. (6) Nanašanje z ionskim snopom omogoča rast različnih tankih filmov pri nizkih temperaturah in se izogne neželenim učinkom na materiale ali precizne dele, ki bi jih povzročila obdelava pri visokih temperaturah, saj je mogoče parametre, povezane z atomskim nanašanjem in ionsko implantacijo, natančno in neodvisno prilagajati, prevleke nekaj mikrometrov z dosledno sestavo pa je mogoče ustvarjati neprekinjeno pri nizkih energijah bombardiranja.
Čas objave: 7. marec 2024